質量流量調節器 EX-550 series ガス用デジタル高精度
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特徴
- 技術
- 質量
- 流体
- ガス用
- その他の特徴
- デジタル, 高精度
- 圧力
最大: 3,000,000 Pa
(435.1 psi)最少: 50,000 Pa
(7.3 psi)
詳細
■対象流体：気体 N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等
■最大流量：気体 10SCCM～5SLM
■精度：±1%S.P.(25～100%F.S.)
±0.25%F.S.(～25%F.S.)
メタルシール
S.P.精度で高精度な計測が可能、全流量制御範囲 応答1sec以内
ロータリースイッチによるガス種切替可能
RS485通信機能あり、アナログ入出力0-5VDC/4-20mA選択可能、電源±15VDC/24VDC選択可能
カタログ
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