ざらつき用プロフィロメータ MPR100

ダイレクト接触

プロファイル＆ラフネステスター 特長とアドバンテージ 1.プロファイルとラフネス検出器を1台に集約 2.デジタルプロファイル検出器 3.リアルタイムのプロファイルトラック表示 4.ノーズピースなしの標準的な粗さ検出器 技術データ モデル - MPR100 測定範囲 - X軸 - 100~220mm - Z軸：320〜620mm - Z1軸：C:0〜±30mm/R:±420μm プロファイル精度 Z1軸：±(1.5+|0.2H|)μm - 円弧：±(2+R/8)μm - 角度 - ±2′ - 真直度 - 0.8μm/100mm 粗さ精度 - 直線性 - ±(7nm+3.5%)μm - 残留ノイズ - ≤0.025μm - 繰り返し精度 - 1δ≦2nm - カットオフ波長 - 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm - 評価長さ λcX2, 3, 4, 5, 6, 7 駆動速度 X軸：0.1〜10mm/s - Z軸：0.5～10mm/s