光学式プロフィロメータ

3Dざらつき用非接触式

AFMや3Dスタイラスプロファイロメーターの半分以下の価格で光学式プロファイロメーターを手に入れることができます。Profilm30は、最先端の白色光干渉法（WLI）を採用し、0.05ymまでの表面形状と粗さを測定します。PSIオプションを追加すると、垂直方向の最小形状は0.001pmになります。Profilmソフトウェアは、曲面や段差のある場所でも、表面のテクスチャ（粗さ）を含めた全画像を解析することができます。また、より大きな画像を解析するために、複数の画像をつなぎ合わせることも可能です。 特徴 - 自動XYステージ（100mm x 100mm）、チップチルト（+1～5°）の動作範囲 - 100mmの範囲で動く自動Zモーション - 業界最高水準の500mのピエゾ移動量 - 業界最高水準の2mm幅の広視野（10倍対物レンズ）。また、複数の倍率の対物レンズを交互に使用するアプリケーションのために、4ポジションのタレットを構成することもできます。 - 最大試料幅265mm - 0.5%の精度で10umのステップハイトを標準装備。他にも100μm、2μm、4μmがあります。 テクスチャ（ラフネス）解析 曲面やテクスチャー(粗さ)の解析には、除去機能(形状除去)とフィルタリング機能を備えています。 ASME/EUR/ISO規格の47種類の粗さパラメータを線や面でサポートします。 1.アルファのステップは破壊的な測定で、私たちのシステムは光学的な非接触方式を採用しています。 2.曲面などの凹凸のあるサンプルも測定可能 3.同じ測定時間（数秒）で数平方ミリメートルの面積を測定できるが、αステップでは一次元のリニアスキャンしかできない 4.より良いアスペクト比を測定可能