3D検査装置 MV.EYE CR1

共焦点測定用表面用

高精度3次元表面検査装置 MV.EYE CR1 MV.EYE CR1は、3次元クロマティックコンフォーカルラインセンサーにより、製品や部品の表面を高速かつ高精度にスキャンすることができる検査システムです。1ライン192点の測定点と最大6,000Hzの測定周波数により、点密度の高い広い検査領域でも高速にスキャンすることができます。従来のコンフォーカルポイントセンサーでは数時間かかっていた検査工程が、新しい検査システムMV.EYE CR1では数分で実施できます。 20nmの分解能で3次元表面検査を実現 ウェハーの表面検査や形状検査、金属部品の欠陥検査や粗さ検査、精密射出成形部品の形状検査から、高級製品の組み立て工程での隙間測定まで、幅広い分野で利用されています。また、センサーのZ測定範囲が足りない場合は、センサーを上下に移動させることで、ほぼ自在に範囲を拡大することが可能です。 生産工程の自動化に対応した検査装置 MV.EYEC CR1プラットフォームは、従来のポイントセンサーによる検査工程を数時間から数分に短縮することができます。生成される3次元表面データは、z方向で20nmの解像度を達成しています。異なる高性能光学系をインテリジェントかつモジュール的に組み合わせることにより、幅広い検査が可能になり、この検査システムはさまざまな用途で信頼できる完全なソリューションとなっています。