熱流量計 FF-103 FLEXI-FLOW

質量ガス用ガラス

主な特徴

• 8つのプリインストールされたガス、Bronkhorst FlowSuiteを介して利用可能な22のガス
• 流量と温度の測定
• コンパクトなデザイン
• 最大16 bar(g)
• 無料のソフトウェアBronkhorst FlowSuiteを使用したBluetoothおよびUSB-C接続
• TCS技術による迅速な応答

プリインストールされたガスと最大範囲
ガス | 最大範囲
N₂, 空気, H₂ | 50 mln/min
O₂ | 45 mln/min
Ar, CH₄ | 40 mln/min
He | 70 mln/min
CO₂ | 35 mln/min

マルチフルード機能
無料のソフトウェアBronkhorst FlowSuiteを使用して、22の利用可能なガスの1つを追加するか、機器に混合物を作成できます。これにより、アプリケーション用のマルチフルード機器を持つことができます：C₂H₂, 空気, C₃H₄ #1, Ar, CO₂, CO, C₃H₆ #1, D₂ #1, C₂H₆, C₂H₄, He, H₂, Kr, CH₄, Ne, N₂, N₂O, O₂, C₃F₈, C₃H₆ #2, C₃H₈, C₃H₄ #2.
機器をBluetoothで電話に簡単に接続し、アプリで使用できます。あるいは、適切なケーブルを使用してPCに接続することもできます。

FF-103 FLEXI-FLOW 50 mln/minの特徴

• マルチパラメータ出力：実際の質量流量と温度（機器）
• ほぼすべての種類のガスまたはガス混合物に使用可能
• BluetoothまたはUSB-Cによるシンプルで安全な接続
• 高度な診断機能
• オンボードガスデータベースとリアルタイム変換による高精度
• 簡単に設定可能
• MTBF 145年
• ユニークなTCS（Through Chip Sensor）
• 迅速な応答 <30ms
• コンパクトなデザイン
• Namur NE107ステータス表示

アプリケーション

• 反応性スパッタリング
  • 層の厚さと透明度の制御のための設定値の迅速なフォローアップ
  • アプリケーション内での柔軟性のための大きな動的範囲
• 分析機器
  • 微量元素分析、ガスクロマトグラフィー、ICPスペクトロスコピー、OESスペクトロスコピー、質量分析
  • 優れた再現性と長期安定性
  • 分析グレード; 低アウトガス。非常に低い流量でも迅速な流量制御。
• 燃料電池
  • H₂、空気、O₂、CO₂の流量測定と制御において短期および長期で非常に正確で再現性がある
  • いつでも正確さを保つための迅速な応答流量測定と制御
  • 広い流量範囲での正確さのための大きな動的範囲流量測定と制御
  • スペース制約のあるモバイルアプリケーションにコンパクト

技術仕様

• 測定/制御システム:
  • 流量範囲: 1...50 mln/min
  • 精度: ±1.5% Rdプラス±0.5% FS（校正条件下）
  • 再現性: < ± 0.2% Rd
  • ターンダウン比: 1:50
  • 圧力定格（PN）: 16 bar(g) (232 psi(g))
  • 温度定格: 0 … 50 °C (32°F … 122°F)
  • 動作圧力: 0.8 … 17 bar(a)
  • プリインストールされたガス: 空気、N₂、O₂、H₂、Ar、He、CH₄、CO₂（22のユニークなガスとこれらのガスの任意の混合物のための埋め込みガスデータ）
  • 標準校正ガス: N₂
  • 応答時間（センサー）: <30 ms
  • 温度係数: 流量センサー: ゼロ 0.015% FS/ºC; スパン 0.05% Rd/ºC
  • 漏れの完全性、外部: 典型的 < 2 x 10⁻⁹ mbar l/s He
  • 姿勢感度: 任意の位置に取り付け、姿勢感度は無視できる
• 機械部品:
  • 材料（湿潤部品）: アルミニウム、ステンレス鋼、窒化ケイ素、エポキシ、酸化アルミニウム、ガラス
  • 試験圧力: 25 bar(g)
  • プロセス接続: G1/8”BSSP ISO 1179キャビティ
  • シール材: FKM 51415
  • 重量: 250グラム
  • 侵入保護: IP40
• 電気的特性:
  • 電源: +24 VDc ± 10%
  • 最大消費電力: 0.5ワット
  • デジタル通信: Modbus-RTU / FLOW-BUS
  • 電気接続: 9ピンD-subオス