質量流量計 FF-101 FLEXI-FLOW

熱ガス用液体用

概要

• 8つのプリインストールされたガス、Bronkhorst FlowSuiteを介して利用可能な22のガス
• 流量と温度の測定
• コンパクトなデザイン
• 最大16 bar(g)
• 無料のソフトウェアBronkhorst FlowSuiteを使用したBluetoothおよびUSB-C接続
• TCS技術による高速応答

プリインストールされたガス
ガス | 最大範囲
N₂, 空気, H₂ | 5 mln/min
O₂ | 4.5 mln/min
Ar, CH₄ | 4 mln/min
He | 7 mln/min
CO₂ | 3.5 mln/min

無料のソフトウェアBronkhorst FlowSuiteを使用して、22の利用可能なガスの1つを追加したり、機器上で混合物を作成したりできます。これにより、アプリケーションに適したマルチフルード機器を手に入れることができます：C₂H₂, 空気, C₃H₄ #1, Ar, CO₂, CO, C₃H₆ #1, D₂ #1, C₂H₆, C₂H₄, He, H₂, Kr, CH₄, Ne, N₂, N₂O, O₂, C₃F₈, C₃H₆ #2, C₃H₈, C₃H₄ #2.
Bluetoothを介して簡単に電話に接続し、アプリで使用できます。あるいは、適切なケーブルを使用してPCに接続することもできます。

FF-101 FLEXI-FLOW 5 mln/minの特徴

• マルチパラメータ出力：実際の質量流量と温度（機器）
• ほぼすべての種類のガスまたはガス混合物に使用可能
• BluetoothまたはUSB-Cを介したシンプルで安全な接続
• 高度な診断機能
• オンボードガスデータベースとリアルタイム変換による高精度
• 簡単に設定可能
• MTBF 145年
• ユニークなTCS（Through Chip Sensor）
• 高速応答 <30ms
• コンパクトなデザイン
• Namur NE107ステータス表示

技術仕様
測定/制御システム
流量範囲 | 0.1...5 mln/min
精度 | ±1.5% Rdプラス±0.5% FS（校正条件で）
再現性 | < ± 0.2% Rd
ターンダウン比 | 1:50
圧力定格（PN） | 16 bar(g) (232 psi(g))
温度定格 | 0 … 50 °C (32°F … 122°F)
動作圧力 | 0.8 … 17 bar(a)
プリインストールされたガス | 空気, N2, O2, H2, Ar, He, CH4, CO2（22のユニークなガスとこれらのガスの任意の混合物のための埋め込みガスデータ）
標準校正ガス | N2
応答時間（センサー） | <30 ms
温度係数 | 流量センサー：ゼロ0.015% FS/ºC; スパン0.05% Rd/ºC
漏れの完全性、外部 | 典型的< 2 x 10-9 mbar l/s He
姿勢感度 | 任意の位置に取り付け、姿勢感度は無視できる

機械部品
材料（湿潤部品） | アルミニウム、ステンレス鋼、窒化ケイ素、エポキシ、酸化アルミニウム、ガラス
試験圧力 | 25 bar(g)
プロセス接続 | G1/8”BSSP ISO 1179キャビティ
シール材 | FKM 51415
重量 | 250グラム
侵入保護 | IP40

電気的特性
電源 | +24 VDc ± 10%
最大消費電力 | 0.5ワット
デジタル通信 | Modbus-RTU / FLOW-BUS
電気接続 | 9ピンD-subオス

アプリケーション

• 反応性スパッタリング
  • 層の厚さと透明度の制御のための設定値の迅速なフォローアップ
  • アプリケーション内での柔軟性のための広い動的範囲
• 分析機器
  • 微量元素分析、ガスクロマトグラフィー、ICP分光法、OES分光法、質量分析
  • 優れた再現性と長期安定性
  • 分析グレード; 低アウトガス。非常に低い流量でも迅速な流量制御。
• 燃料電池
  • H2、空気、O2、CO2の流量測定と制御において短期および長期で非常に正確で再現性がある
  • いつでも正確さを保つための高速応答流量測定と制御
  • 広い流量範囲での正確さのための広い動的範囲流量測定と制御
  • スペースが制限されたモバイルアプリケーションに適したコンパクトさ

特性 / 技術仕様

• モデル: FF-101 FLEXI-FLOW
• 流量範囲: 0.1...5 mln/min
• 精度: ±1.5% Rdプラス±0.5% FS
• 再現性: < ± 0.2% Rd
• ターンダウン比: 1:50
• 圧力定格: 16 bar(g)
• 温度定格: 0 … 50 °C
• 動作圧力: 0.8 … 17 bar(a)
• プリインストールされたガス: 空気, N2, O2, H2, Ar, He, CH4, CO2
• 標準校正ガス: N2
• 応答時間: <30 ms
• 温度係数: 流量センサー：ゼロ0.015% FS/ºC; スパン0.05% Rd/ºC
• 漏れの完全性: 典型的< 2 x 10-9 mbar l/s He
• 姿勢感度: 任意の位置に取り付け、姿勢感度は無視できる
• 材料（湿潤部品）: アルミニウム、ステンレス鋼、窒化ケイ素、エポキシ、酸化アルミニウム、ガラス
• 試験圧力: 25 bar(g)
• プロセス接続: G1/8”BSSP ISO 1179キャビティ
• シール材: FKM 51415
• 重量: 250グラム
• 侵入保護: IP40
• 電源: +24 VDc ± 10%
• 最大消費電力: 0.5ワット
• デジタル通信: Modbus-RTU / FLOW-BUS
• 電気接続: 9ピンD-subオス