当社の超大型熱処理炉は使用可能ゾーンが8立方フィートあり、最高温度は1750 °C (3200 °F)です。高負荷容量、16″または20″の拡散ポンプシステム、急速冷却用ガス熱交換器が特徴です。
ホットゾーンは、タングステン、モリブデンまたはタンタル棒状発熱体から製造され、優れた長寿命、剛性、均一性、製品適合性を保証します。
炉室は前面と背面にアクセスドアを備え、装入とメンテナンスを容易にします。
大重量の装入物を容易に操作できる装入カートも用意されています。
一般仕様
24″ x 24 " x 24″使用可能ホットゾーン (610mm x 610mm x 610mm)
20″高真空システム
より速い冷却のための熱交換器
優れた温度均一性
前後にアクセス可能
大容量
使いやすいHMIコンピューターインターフェース
ロードカートおよびその他のオプションあり
チャンバーは前面から装填され、24″ x 24″ x 24″の使用可能ゾーンと+/- 10℃の温度勾配を持つホットゾーンを含みます。棒状発熱体は4面加熱を行います。エレメントは優れた均一性と長寿命を特徴としています。炉室は二重壁のステンレス鋼を溶接して製作され、きれいな仕上がりと良好な真空度のために研磨されています。
チャンバーポートにより、補助機器やセンサーがチャンバー環境にアクセスできます。ホットゾーンシールドはチャンバーフレームに取り付けられ、ヒートサイクル中のゾーンの熱成長を可能にします。チャンバーには前面ドアと背面ドアがあり、ホットゾーンへの完全かつ容易なアクセスが可能です。
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