遠隔操作式可動システム NWL200

自動PCにより制御可能電子制御された

製品概要
NWL200シリーズは、6"（150 mm）および8"（200 mm）ウエハの自動搬送・取扱いを行うウェハローダで、オプションにより100 µmまでの超薄ウエハ搬送に対応します。光学顕微鏡や画像測定装置との統合を想定し、生産ラインの高スループットかつ安全なハンドリングを目的に設計されています。

適合性と基本機能

• 対応ウエハ径：6"（150 mm）および8"（200 mm）。
• Nikon Eclipse L200N、LV150N顕微鏡およびNEXIV VMZ‑S等の画像計測装置と連携可能。
• 標準搬送は300 µmおよび200 µm対応、オプションで100 µm超薄ウエハ用チャックを搭載可能。

主な機能と搬送性能

• 迅速で精密な多腕によるローディング／アンローディング機構。
• 非接触センタリングを備えた高速カセットエレベータで高精度アライメントを実現。
• マクロ検査対応：表面パターン、裏面周辺、中心領域の検査。
• 自動／手動で設定可能な回転速度および傾斜角で多様な検査に対応。
• 停電発生時でもマクロアームの真空チャックは保持され、ウエハの安全な取り出しが可能。

クリーン設計と防汚対策
真空保持部やセンタリング領域に連続エアフローを確保し、微粒子発生を抑制。ステンレスカバーにより静電気蓄積を低減し、クリーンルーム要件に適合します。

安全性とウエハ検出

• センサビーム配置により、カセット内の歪んだ薄ウエハを検出し、収集を中止して衝突を防止します。
• 搬送中の衝突回避ロジックによりウエハ損傷リスクを低減します。

操作性と人間工学

• フロントパネルは操作性重視：ワンタッチでウエハ選択、視認性の高いLCD、レシピ管理用の構造化メニューを搭載。
• 搬入口とカセット交換位置を左前方35°に配置し、作業者の取り扱いを容易にしています。

リモート操作とサポート

• Remote Access Web Serverツールにより、ブラウザウィザード経由でLAN接続し検査レシピの作成・編集・バックアップが可能。
• リモートレシピ書き込みとバックアップにより検査業務の継続性とスループット最適化を支援します。

仕様（主な仕様）

• 対応ウエハ径：6"（150 mm）、8"（200 mm）。
• 対応厚さ：標準300 µm、200 µm；オプションで100 µm超薄対応。
• 対応機器：Nikon Eclipse L200N、LV150N、NEXIV VMZ‑S等。
• 搬送方式：多腕搬送、非接触センタリング、高速カセットエレベータ。
• 検査モード：表面パターン、裏面周辺、中心領域；回転・傾斜は自動/手動で調整可能。
• 防汚対策：連続エアフロー、ステンレスカバー（静電気低減）。
• 安全機能：ウエハ検出による衝突回避、停電時の真空保持による安全な取り出し。
• 操作系：ワンタッチ選択、LCD表示、レシピ管理；リモートWebアクセスによるレシピの管理・バックアップ。