粘着式分注装置 Vantage® XL

固定型

概要
ASYMTEK Vantage® Seriesは、ウェハー、基板、パネルレベルの先端半導体パッケージング向けに設計された高精度流体ディスペンスプラットフォームです。高速ジェッティング、自動キャリブレーション、クローズドループ制御を組み合わせ、微細部品や高スループット生産で再現性の高いディスペンスを実現します。

主な特長と利点

• ダイ間ギャップ200 μm未満への吐出およびキープアウト250 μm未満の回避
• 高スループット：単一IntelliJetで最大49,000 DPH、デュアルIntelliJetで最大90,000 DPH
• 自動キャリブレーションと特許取得済みのリアルタイム補正による一貫したウェットディスペンス
• 反射および透明基板対応のコンフォーカル／非接触レーザー高さ検出
• クローズドループ制御、ポストディスペンス検査、完全なトレーサビリティ
• ASYMTEK NE Connect APIおよびCanvas® SDKによるIndustry 4.0対応の接続性

Vantage（標準）
精度、プロセスの柔軟性、スループットを要求されるウェハー／基板レベルの用途に最適な、柔軟な精密ディスペンスプラットフォームです。

Vantage の機能

• 200 mmおよび300 mmウェハー、310 × 310 mmパネルに対応
• 単一IntelliJetで最大49,000 DPH、デュアルIntelliJetで最大90,000 DPH
• Canvas®のグラフィカルプログラミングで迅速なセットアップとシミュレーションが可能

Vantage XL
パネルサイズ、熱管理、平坦性が歩留まりに影響する大判パネルレベルのパッケージング向けに構成されています。

Vantage XL の機能

• 最大510 × 515 mmのパネル処理（カスタム治具で追加サイズ対応）
• 変形を抑える統合熱管理とアンダーフィル流動の最適化
• デュアルバルブIntelliJetによる高速ジェッティングとリアルタイム補正

ソフトウェア — Canvas®
Canvas®はグラフィカルなプログラミング、ガイド付きウィザード、データタイル、オフラインプログラミングを提供し、生産停止の回避を支援します。

• 仮想キャンバス上でのスキャンとディスペンスシミュレーション
• ガイド付きセットアップウィザードおよびオフラインプログラミング
• センサーやプロセス制御、履歴データへの迅速なアクセス

搭載可能なバルブ／技術

• IntelliJet® ジェッティング、NexJet NJ-8
• DispenseJet DJシリーズ（DJ-2100、DJ-2200、DJ-9500）
• DVシリーズバルブ（DV-01、DV-05A、DV-07、DV-09）およびHeli-Flowポンプ（DV-7000、DV-8000C）

プロセスオプションと統合

• Calibrated Process Jetting（CPJ）
• Continuous Path Motion ControlおよびFids-on-the-Flyによる自動フィデューシャル認識
• 高解像度ビジョンパッケージや非接触高さ検出

用途

• ウェハー／基板レベルのディスペンス
• パネルレベルパッケージングおよび大型先端パッケージング
• アンダーフィル、ボンディング、シーリング、接着剤のディスペンス

準拠 / 特許
特許取得済みおよび出願中のリアルタイム補正技術（例：米国特許 9,707,584；10,150,131；10,737,286）。

技術仕様

• シリーズ名：ASYMTEK Vantage® Series
• 最小ダイ間ギャップ対応：< 200 μm
• キープアウト対応：< 250 μm
• 単一IntelliJetスループット：最大約49,000 DPH
• デュアルIntelliJetスループット：最大約90,000 DPH
• パネル対応（Vantage）：310 × 310 mm；（Vantage XL）：最大510 × 515 mm
• 高さ検出：コンフォーカルおよび非接触レーザー
• ソフトウェア：Canvas®（グラフィカルプログラミング、オフライン、ウィザード）
• プロセス制御：クローズドループ制御、ポストディスペンス検査、トレーサビリティ