光学式プロフィロメータ UA3P series

3D原子間力スタイレット

パナソニックのUA3Pプロフィロメーターシリーズは、非球面レンズや金型、半導体ウェハー、その他ナノメートルレベルの精度が要求される精密部品を最大200mm x 200mmまで測定できるように設計されています。光学測定や高アスペクト比測定のニーズにお応えするため、さまざまな機種をご用意しています。 UA3P-300、UA3P-4、UA3P-5は、CMMの測定範囲とAFM技術の精度をユーザーに提供します。スタイラスには原子間力プローブ技術を採用し、XYZ軸の位置決めにはHeNeレーザーを用いた干渉計を使用する独自のアプローチを採用しています。 この技術を強固な花崗岩ベースと組み合わせることで、工場現場で使用可能でありながら、0.1umレベルの総合不確かさを実現する堅牢な計測システムが完成しました。 - UA3Pは、携帯電話、DSC、DVD、Blu-rayレコーダーなどのデジタル家電や、ホームセキュリティ、光通信、車両Hに不可欠な非球面レンズや自由曲面ミラーとその金型を測定することができます。 - わずか3分の超精密測定 - NCプログラム自動生成 - 豊富なオプションソフトウェア - 簡単な操作で加工への素早いフィードバックをサポート 外形寸法 (W x D x H) mm 700 x 780 x 1,500 本体質量 700kg（その他：150kg） 測定範囲（X、Y、Z軸） mm 30×30×20 測定物設置範囲（X、Y、Z軸） mm 100x100x100 測定プローブ AFP 分解能 0.3nm 最大上面測定傾斜角 75º 上面プローブによる測定精度 30°以下：±0.05 µm（往復） 45°以下：±0.08 µm（往復） 60°以下：±0.15 µm（往復） 70° 最大：±0.15 µm（背面） *標準ルビースタイラスまたはセラミックスタイラス使用時