スタイレットプロフィロメータ

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スタイレットプロフィロメータ
スタイレットプロフィロメータ
Intra Touch

... ポータブルタイプでありながら、面粗さ測定だけでなく形状の測定も可能、それがイントラシリーズです。 携帯性を機能と組み合わせることで、イントラは工場作業場における最適な表面粗さ測定機となりました。様々なアプリケーションに適合するよう、多数の解析機能をご提供します。次のような特徴があります。3D輪郭測定、円錐、非球面形状の解析、デュアルプロファイルおよびゴシックアーチの解析をはじめ、多彩なツールをお使いいただけます。 イントラ・タッチもしくはイントラ・ウルトラ 頑丈な筺体に収納されているイントラは、最小限のメンテナンスやサポートでの測定精度維持を実証してきました。最新のイントラシリーズでは、高機能なDTP機能でレポート作成の自動化や多様な解析機能を利用でき、タッチスクリーン操作に対応した「タリプロファイル」ソフトウェアを使用する「イントラ・タッチ」もしくはフォームタリサーフやタリロンドシリーズと共通の測定・解析ソフトウェアで追加のオペレータトレーニングが不要な「Ultra」を使用する「イントラ・ウルトラ」が選択できます。両モデル共通のイントラ測定機本体は、その品質、フレキシビリティ、使い易さで、多様な業界にわたって生産現場の標準としてなってきています。Raのような単純な粗さパラメータだけでなくより高度な分析、より高いレベルの精度、またはより大きなフレキシビリティが必要な場合には、フォームタリサーフイントラは最適な製品といえます。業界トップの仕様を簡単操作さと組み合わせ、比類ない実用性と価値を誇っています。 ...

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TAYLOR HOBSON
スタイレットプロフィロメータ
スタイレットプロフィロメータ
Intra Contour

... 輪郭形状の測定と表面粗さの測定が一台で可能な、ユニークなポータブル測定機です 弊社のサートロニックDUOや サートロニックS-100シリーズ をはじめとする多くのポータブル測定機では、スキッド式と呼ばれる方式を採用しています。 この方式は装置を軽量・小型かつ安価に出来る利点があり、多くの測定機メーカーの測定機で採用されている方式です。 一方でこの方式は表面にうねりや形状が含まれる場合は測定結果に誤差が含まれる恐れがあり、またそもそもうねりや形状といった要素を測定することが出来ません。 弊社の「イントラ」型測定機は真直度データムを搭載しており、スキッドレスの測定が可能です。 他社製品でもスキッドレスを謳う製品はありますが、触針の円弧運動に起因する誤差を校正しない場合、曲面の形状測定に関しては誤差が多く含まれるものと考えられます。 テーラーホブソンでは弊社の上位機種「フォームタリサーフ®」シリーズと同一のボール校正アルゴリズムを搭載し、ボール基準での校正により触針の円弧運動を補正します。そのため形状も高精度に測定が可能です。 •イントラ・コントアの特長 •面粗さと輪郭形状を一つのゲージで測定可能 •最大32mmと幅広いZ方向測定範囲 •特許取得済ボール校正法 •高い精度を実現する精密ガラススケール •温度変化に対する高い安定性 ...

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TAYLOR HOBSON
スタイレットプロフィロメータ
スタイレットプロフィロメータ
Talysurf® PGI Optics

... 接触スタイラス式 光学式表面形状測定機 PGIオプティクスはパフォーマンスを最適化し製造能力を向上させる光学部品測定システム。 多様な測定機オプションと解析ソフトウェア群で、お客様のニーズと予算に幅広く対応。 Taylor Hobson フォーム タリサーフ PGI 接触式スタイラス光学プロフィロメータは、大型SAGレンズ、プラスチックレンズ、小型構成部品、直径 300mm までの IR ガラスおよびクリスタルの表面仕上げおよび形状を、高精度で測定できる、光学製品製造業者向けのナンバー ...

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TAYLOR HOBSON
3Dプロフィロメータ
3Dプロフィロメータ
Tencor™ P-7

... Tencor P-7 ベンチトップスタイラスプロファイラ は、市場をリードする Tencor P-17 ベンチトップスタイラスプロファイリングシステムの成功を基に開発されました。P-17 テクノロジーの優れた測定性能を、卓上型スタイラスプロファイラとして優れた価格対機能を提供するプラットフォームに搭載しています。Tencor P-7 スタイラスプロファイラでは、段差、粗さ、反り、応力の 2 次元および 3 次元測定が可能で、最大 150mm のスキャンをステッチなしで行うことができます。 - ステップ高さナノメートルから ...

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KLA Corporation
光学式プロフィロメータ
光学式プロフィロメータ
VR-6000 series

... 面全体を0.1µmの分解能で捉え 最速1秒で高精度3D測定 図面指示を一台で対応 測定機の使い分けをなくす HDRスキャンアルゴリズムにより 測れなかった素材が測れる 回転させて無死角測定 円柱状や薄板肉厚も測定可能に ...

光学式プロフィロメータ
光学式プロフィロメータ
UA3P series

... パナソニックのUA3Pプロフィロメーターシリーズは、非球面レンズや金型、半導体ウェハー、その他ナノメートルレベルの精度が要求される精密部品を最大200mm x 200mmまで測定できるように設計されています。光学測定や高アスペクト比測定のニーズにお応えするため、さまざまな機種をご用意しています。 UA3P-300、UA3P-4、UA3P-5は、CMMの測定範囲とAFM技術の精度をユーザーに提供します。スタイラスには原子間力プローブ技術を採用し、XYZ軸の位置決めにはHeNeレーザーを用いた干渉計を使用する独自のアプローチを採用しています。 この技術を強固な花崗岩ベースと組み合わせることで、工場現場で使用可能でありながら、0.1umレベルの総合不確かさを実現する堅牢な計測システムが完成しました。 - ...

スタイレットプロフィロメータ
スタイレットプロフィロメータ
NS200

... スタイラスナノプロファイラ NS200 は、表面粗さ、微小プロファイル測定、マイクロ〜ナノの段差高さおよび薄膜厚さの接触式測定装置です。サブオングストローム分解能の変位センサー、超低ノイズ信号取得、微細な動作制御、先進的な較正アルゴリズムを採用し、非常に小さな接触力で様々な表面反射、材料、硬度に対応します。半導体、LED、太陽電池、MEMS、タッチパネル、車載、医療機器の検査に適しています。

用途

  • 半導体
    • 堆積膜の段差高さ
    • 薄膜レジストの段差高さ
    • エッチングレート計測
    • 化学機械研磨(腐食、ピッティング、曲がり)
  • 大型基板
    • PCBの突起・段差高さ
    • 窓用コーティング
    • ウェーハマスク
    • ウェーハチャックコーティング
    • 研磨プレート
  • ガラス基板・ディスプレイ
    • AMOLED
    • LCD開発時の段差高さ測定
    • タッチパネルフィルムや太陽電池コーティング薄膜の厚さ測定
  • フレキシブル部品上の膜
    • 有機フォトディテクタ
    • フィルムやガラス上に印刷された有機膜
    • タッチスクリーンの銅配線


特長 ...

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ビジュアルプロフィロメータ
ビジュアルプロフィロメータ
SJ5730-200

... 両面スキャン ネジ付きワーク専用 特徴 1.両面プロファイルスキャン機能 T型スタイラスで表面をスキャンすることにより、対象物のプロファイルを取得し、ソフトウェアがプロファイルに基づいて2DサイズとGD&Tを計算することができます。 2.スレッドスキャン機能 普通ねじリング/プラグゲージ、テーパーねじリング/プラグゲージ、プレーンリング/プラグゲージ、台形ねじ、ノコギリねじ、多頭ねじワークピース、リードスクリューなどをスキャンすることができます。その後、このソフトウェアは、内径、外径、プロファイルパラメータなどの包括的なパラメータを分析することができます。 ...

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スタイレットプロフィロメータ
スタイレットプロフィロメータ
NS200

... スタイラスナノプロファイラCP200は、表面粗さ、マイクロナノステップハイト、膜厚などの微細形状を測定する超精密接触測定機です。 CP200は、サブオングストローム分解能の変位センサー、超低ノイズ信号収集、超微細モーションコントロール、優れた性能の校正アルゴリズム技術を採用しています。接触力が極めて小さく、表面反射特性、材料種類、材料硬度などの測定に特別な要件がないため、半導体や化合物半導体、高輝度LED、太陽エネルギー、MEMS微小電気機械システム、タッチスクリーン、自動車、医療機器などの産業で、微小表面の測定に広く使用されている。 ...

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周辺プロフィロメータ
周辺プロフィロメータ
SURFCOM NEX

スタイレットプロフィロメータ
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Dektak Pro

... DektakPro™は、55年にわたる表面測定の技術革新とリーダーシップに基づき、スタイラスプロフィロメーターの性能に新たな基準を打ち立てました。このシステムは、他の追随を許さない使いやすさで最高品質のデータを提供します。 この第 11 世代の Dektak® システムは、以下の特長を兼ね備えています: 比類のない精度と 4 Å を超える繰返し精度 加速された測定と分析スピード ブルカー独自の多彩な機能と使いやすさ Dektak Proだけが、最先端の研究や産業アプリケーションを将来にわたってサポートするために必要な最新のスタイラスプロフィロメトリーと信頼性を提供します。 業界をリードする 測定と分析 常に正確で高精度なデータを保証します。 ユニークな ダイレクトドライブスキャンステージとソフトウェア 結果までの時間を短縮 合理化された ソフトウェアとチップ交換 比類のない汎用性と使いやすさを提供します。 ブルカーのDektakシステムは、過去50年にわたりスタイラスプロファイリング技術で業界をリードし、分解能、安定性、速度、汎用性の画期的な向上を実現してきました。現在、Dektak ...

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