干渉プロフィロメータ
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... パナソニックのUA3Pプロフィロメーターシリーズは、非球面レンズや金型、半導体ウェハー、その他ナノメートルレベルの精度が要求される精密部品を最大200mm x 200mmまで測定できるように設計されています。光学測定や高アスペクト比測定のニーズにお応えするため、さまざまな機種をご用意しています。 UA3P-300、UA3P-4、UA3P-5は、CMMの測定範囲とAFM技術の精度をユーザーに提供します。スタイラスには原子間力プローブ技術を採用し、XYZ軸の位置決めにはHeNeレーザーを用いた干渉計を使用する独自のアプローチを採用しています。 この技術を強固な花崗岩ベースと組み合わせることで、工場現場で使用可能でありながら、0.1umレベルの総合不確かさを実現する堅牢な計測システムが完成しました。 - ...
... 形状や粗さ、テクスチャー、傷や欠陥、微細構造、MEMSや半導体をサブnmの分解能で分析しませんか Micro.View+は、最高の再現性と測定精度を備えた表面形状測定機です。 nm粗さ・微細構造用モジュール型光学式表面形状測定機 TopMap Micro.View+ は、ポリテックの新世代光学式表面形状測定機です。モジュラー設計により、精密加工部品やマイクロシステムのテクスチャ、微細構造、形状、粗さなど、お客様の表面検査タスクに合わせたさまざまな構成が可能です。Micro.View+は、測定や研究室向けに設計されていますが、純粋なセンサーを統合することで、インラインアプリケーションにも適しています。 3Dトポグラフィを視覚化し、カラーモードを使用して、表面欠陥や文書化など、より意味のある視覚化と差別化を行うことができます。オプションで5MPカメラを使用できます。 包括的なアクセサリーパッケージは、測定を簡素化し、スピードアップします。フォーカス・ファインダーと革新的なフォーカス・トラッカーは、どのような状況下でも、また再ポジショニングの最中でも、常に試験片にピントを合わせます。完全モーター駆動のポジショニング・テーブルは、先端/傾斜を自動的に調整しながら、自動スティッチングと試験をサポートします。 + ...
... TopMap Micro.View®は、白色光干渉計TopMapシリーズのコンパクトな表面形状測定装置で、微細構造、テクスチャ、仕上げ、面粗さパラメータ(Sa、Sz、...)の再現性の高い高解像度の表面検査を可能にします。 nm以下の分解能で高速に表面をスキャンします! 。 100 ミリメートルの z 方向測定レンジを持つ Continuous Scanning Technology(CST) は、複雑な形状をナノメートルの分解能で測定することを可能にします。この便利な卓上型のセットアップは、測定を容易にして、かつ高速化する高性能のフォーカスファインダを含むエレクトロニクスを持っていることを特徴としています。 拡張された機能を持つコンパクトなフットプリント ノイズが大きく測定が難しい製造ラインの環境などにおいても、オプションの ...
... 表面の詳細、形状パラメータ、および粗さの複合的な光学3D測定 TopMap Pro.Surf+は、平面度、段差、平行度、表面粗さなどの形状パラメータを評価し、あらゆる表面特性の要求に応えるカスタマイズされたソリューションを提供します。その空間分解能とテレセントリックな光学系は、深部まで到達し、他に類を見ない測定速度とともに、この生産計測ツールの高性能を証明しています。 TopMap Pro.Surf +は優れた空間分解能と、テレセントリックレンズを有するため、あらゆるアプリケーションにおいて、平坦度、段差、平行度などのパラメータを正確に測定できます。 クロマティック共焦点センサと白色光干渉計を組み合わせることによって重要な表面情報の見落としがありません。。測定範囲は44×33 ...
... 最も要求の厳しいアプリケーション向けに設計されたNexview™ NX2 白色干渉計は、超高精度、高度なアルゴリズム、汎用性、および自動化を1つのパッケージに組み合わせて、ZYGOの最先端の垂直走査低コヒーレンス干渉計 (CSI) プロファイラです。 この非接触のテクノロジーは、すべての倍率でサブナノメートルの精度を提供し、他のテクノロジーよりも高速かつ正確に広範囲の表面を測定することができます。Nexview NX2は、ほぼすべての表面と材料の、平坦度、粗さ、うねり、薄膜、ステップ高さなど、さまざまな用途に対応できる、完成されたプロファイラです。 資料請求 ...
Zygo
... 生産現場で使える白色干渉計 ZeGage™ ProとZeGage™ Pro HR 白色干渉計は、製造現場での品質管理とプロセス管理を保証する、さまざまな種類の表面のマイクロスケールとナノスケールの非接触表面測定と特性評価を提供します。 当社の業界をリードするZeGage Proシリーズは、ベンチトップクラスの産業用白色干渉計の性能、使いやすさ、柔軟性と精度を保証します。ZYGO独自のCSIテクノロジーに基づいて構築されたZeGage Proは、正確で信頼性の高い、シンプルな表面測定を可能にする革新的なテクノロジーを提供します。 その独自の機能には、耐振動性測定のためのSureScan™テクノロジー、パーツファインダー、部品のセットアップを容易にし、測定を最適化するためのスマートセットアップなどがあります。 ...
Zygo
... NewView™ 9000 白色干渉計は、非接触式光学表面プロファイリングに力強い汎用性をもたらします。このシステムは鏡面、粗面、平面、傾斜、階段状など、さまざまな種類の表面を簡単に素早く測定できます。測定はすべて非破壊かつ高速で、試料の前処理は不要です。 システムの中核を成すのは、ZYGOのコヒーレンススキャン干渉測定 (CSI) テクノロジーです。これにより、すべての倍率でサブナノメートルの精度を実現し、他のテクノロジーよりも高速でより正確に、より広い範囲の表面を測定することができます。 性能、汎用性 汎用性が、ZYGOのNewView製品の特長です。NewView ...
Zygo
... ハイブリッド3D光学式形状測定機Superview WTシリーズは、様々な精密部品や材料の表面をサブナノメートル単位で測定するために使用されます。 様々な精密部品や材料の表面形状測定に使用されます。白色光干渉計と共焦点顕微鏡の 白色光干渉計と共焦点顕微鏡の2つの高精度3次元測定器の性能を統合しています、 試料表面を非接触でスキャンし、3次元表面イメージを再構築します。 超平滑で透明な表面を測定する場合、白色光干渉モードを使用することで 高精度で歪みのない画像を取得し、粗さなどのパラメータを分析するために使用することができます。 鋭角な形状を持つ粗い表面を測定する場合、共焦点顕微鏡モードを使用することで、大角度の3Dトポグラフィー画像を再構成することができます。 大角度の3次元トポグラフィ画像を再構成し、表面品質を反映した2次元・3次元パラメータをデータ処理・解析することにより得ることができます。 ソフトウェアによる表面3D画像のデータ処理と解析により、表面品質を反映する2次元および3次元パラメータを得ることができます。 ...
... コンパクトフレキシブルパワフル S lynxは、産業および研究用に開発された非接触3D表面プロファイラの新製品です。多用途のコンパクトなシステムとして開発されました。S lynxは様々な表面スケールの異なる表面性状、構造、粗さ、うねりを測定できます。S lynxの多用途性により、幅広い範囲の高品質な表面測定に使用できます。Sensofar独自の3-in-1測定技術により理想的な性能が保証されています。また、関連するSensoSCANソフトウェアにより驚くほど直感的に使用でき、さらに高い性能を補完しています。 用途 - ...
Sensofar Metrology
... 新しい S neox は、性能、機能、効 率、デザインの全ての面で既存の 光学3Dプロファイリング顕微鏡を 凌駕する、クラス最高の面形状計 測システムです。 さらに速く スマートでユニークな新しいアル ゴリズムとカメラにより、全てをさ らに速く実行できます。データ取 得速度は 180fps で、標準測定 時間は5倍も短縮されました。新 しいS neoxは市場で最速の面形 状測定システムです。 使い易く Sensofarでは最高の性能・品質 を提供するため、継続的に製品改 良を行っています。第5世代であ る新しいS ...
Sensofar Metrology
... 完全なアクセシビリティ S neox 5 軸 3D 光学式プロファイラは、高精度の回転モジュールと S neox 3D 光学式プロファイラの高度な検査・解析機能を組み合わせたものです。これにより、定義された位置での自動3D表面測定が可能となり、これらを組み合わせて完全な3D体積測定を作成することができます。 ...
Sensofar Metrology
... Tropel® FlatMaster® MSP (Multi-Surface Profiler) は、直径300mmまでの半導体ウェハーを高速かつ正確に計測することができる周波数ステッピング干渉計です。 最大300万点のデータをサブミクロン精度で収集し、表面全体の厚みと平坦度の特性を数秒で測定します。 FlatMaster MSPは、複雑なコンポーネントやアセンブリから透明な素材やウェハーの測定まで、様々なアプリケーションに対応する堅牢な測定機能を提供します。 FlatMaster MSP-DHは、部品やアセンブリの2面を同時に測定するように構成されており、絶対厚みと平行度を測定することができます。 300mm厚のガラスやシリコンウェーハの平坦度、厚み、厚みのばらつきを測定する機能は、3DICアセンブリの統合を成功させるために重要です。従来のコンタクトプローブや干渉計システムは、速度が遅すぎたり、大きな視野に必要な精度を備えていません。 ...