ハイブリッド3D光学式形状測定機Superview WTシリーズは、様々な精密部品や材料の表面をサブナノメートル単位で測定するために使用されます。
様々な精密部品や材料の表面形状測定に使用されます。白色光干渉計と共焦点顕微鏡の
白色光干渉計と共焦点顕微鏡の2つの高精度3次元測定器の性能を統合しています、
試料表面を非接触でスキャンし、3次元表面イメージを再構築します。
超平滑で透明な表面を測定する場合、白色光干渉モードを使用することで
高精度で歪みのない画像を取得し、粗さなどのパラメータを分析するために使用することができます。
鋭角な形状を持つ粗い表面を測定する場合、共焦点顕微鏡モードを使用することで、大角度の3Dトポグラフィー画像を再構成することができます。
大角度の3次元トポグラフィ画像を再構成し、表面品質を反映した2次元・3次元パラメータをデータ処理・解析することにより得ることができます。
ソフトウェアによる表面3D画像のデータ処理と解析により、表面品質を反映する2次元および3次元パラメータを得ることができます。
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