光学式プロフィロメータ WT3000

3D共焦点表面粗さ測定用

ハイブリッド3D光学式表面形状測定機Superview WTシリーズは、様々な精密部品や材料の表面をサブナノメートル単位で測定するために使用されます。白色光干渉計と共焦点顕微鏡の2つの高精度3次元測定器の性能を統合し、試料表面を非接触でスキャンし、3次元表面画像を再構築することができます。超平滑で透明な表面を測定する場合、白色光干渉モードを使用することで、高精度で歪みのない画像を得ることができ、粗さなどのパラメータを解析することができる。鋭角な特徴を持つ粗い表面を測定する場合、共焦点顕微鏡モードで大きな角度の3Dトポグラフィー画像を再構築することができ、表面3D画像をソフトウェアでデータ処理・解析することで、表面品質を反映する2D＆3Dパラメータを得ることができる。