表面粗さ測定用プロフィロメータ Micro.View

光学式3D干渉

概要
Micro.Viewプラットフォームに基づくコンパクトな光学式3D表面プロファイラ。非接触で表面粗さとトポグラフィを測定します。タッチ式（スタイラス）システムからの導入向けに設計され、マットから高反射の部品まで対応する面積およびプロファイルの粗さ評価を提供します。

ハイライト

• ISO準拠の粗さ評価：プロファイルのRパラメータおよび面評価のSパラメータ
• ラボや品質管理向けのコンパクトなテーブルトップ設計
• オプション：自動化されたモーター式XYステージ（Advanced版は75 mmの可動域）
• アップグレードおよび下取り対応オプションあり

主な利点

• 2Dプロファイル（Ra、Rz等）に加え、完全な3D面測定（Sa、Sq、Sz等）を提供
• 非接触光学式により表面損傷を回避し、完全なトポグラフィを取得
• コレログラム評価やSST/CSTなどのスキャン技術を組み込み、反射性、暗色、低コントラスト、透明材料でも信頼性の高いスキャンを実現
• サブナノメートルの垂直分解能と低ノイズ

用途／典型的な使用例

• スタイラス式から光学式プロファイラへの置換・導入による包括的な表面テクスチャ解析
• 面評価規格（ISO 25178）への準拠が必要な品質管理ラボ
• 損傷を避けたい敏感または軟らかい表面の測定
• 面データによる機能的な表面問題の早期検出
• 生産および研究開発向けの高速な面積測定

製品構成と機能

• エントリ価格と性能の最適化を目的とした、Micro.Viewプラットフォームに基づくRoughness Testerの事前構成で提供
• サブnm垂直分解能対応のセンサーヘッドと5ポート対物レボルバー
• 振動アイソレーション内蔵のコンパクトベーススタンド
• 標準で10×対物レンズを付属、追加対物レンズはオプション
• 粗さ評価用ソフトウェア（ISO 25178、ISO 4287、ISO 4288、ISO 21920、ASME B46.1準拠）

オプション — Basic vs Advanced

• Basic版：標準部品および単純な粗さ確認向けのコスト重視プロファイラ。サンプル整列用の手動tip/tiltステージを内蔵。
• Advanced版：中型サンプルや自動化を想定。モーター式75 mm XYステージ（xおよびy）と手動tip/tiltを含む。再現性のある整列とTrue Stitchingによる測定領域の拡張が可能。

仕様
表面トポグラフィ性能 — 垂直レンジ（位置決めおよび測定）：100 mm
測定ノイズ：< 0.6 nm
再現性：< 0.2 nm
測定 — 試料反射率：0.05 ～ 100 %
測定エリア（10×対物使用時）：0.79 mm × 0.58 mm
True Stitching時の最大測定エリア（10×）：171 mm²
測定点間隔（10×）：0.59 µm
データ点数：1,352,000（有効ピクセル）
サンプル位置決め — サンプルテーブル寸法：140 mm × 140 mm
XYステージ：Basic：なし；Advanced：75 mm モーター可動域（xおよびy）
tip/tiltステージ：手動
ソフトウェア — 規格に準拠した評価パラメータ：ISO 25178、ISO 4287、ISO 13565、ISO 21920、ASME B46.1
自動化機能：測定・評価レシピ；True Stitching（モーター式XYステージ使用時）

ダウンロードと追加資料
製品ページにデータシートおよびホワイトペーパーの参照を掲載しています（サイト上のファイル名を参照）。