3Dプロフィロメータ TopMap Pro.Surf+

共焦クロマティック干渉光学式

表面の詳細、形状パラメータ、および粗さの複合的な光学3D測定 TopMap Pro.Surf+は、平面度、段差、平行度、表面粗さなどの形状パラメータを評価し、あらゆる表面特性の要求に応えるカスタマイズされたソリューションを提供します。その空間分解能とテレセントリックな光学系は、深部まで到達し、他に類を見ない測定速度とともに、この生産計測ツールの高性能を証明しています。 TopMap Pro.Surf +は優れた空間分解能と、テレセントリックレンズを有するため、あらゆるアプリケーションにおいて、平坦度、段差、平行度などのパラメータを正確に測定できます。 クロマティック共焦点センサと白色光干渉計を組み合わせることによって重要な表面情報の見落としがありません。。測定範囲は44×33 mmと広く、測定結果を合成することにより最大230×220 mmまで拡張することができます。最大測定深度70 mmと優れた空間分解能、さらにテレセントリックレンズを有するため穴のような接触式では測定困難な面の測定も可能です。 短いサイクル時間内での高速測定を実現します。自動パターン認識機能は品質検査工程のスピードをアップさせることができます。複数の測定物も、単一パスで同時に測定できます。