光学式プロフィロメータ TopMap Micro.View+

3D干渉白色干渉法

形状や粗さ、テクスチャー、傷や欠陥、微細構造、MEMSや半導体をサブnmの分解能で分析しませんか Micro.View+は、最高の再現性と測定精度を備えた表面形状測定機です。 nm粗さ・微細構造用モジュール型光学式表面形状測定機 TopMap Micro.View+ は、ポリテックの新世代光学式表面形状測定機です。モジュラー設計により、精密加工部品やマイクロシステムのテクスチャ、微細構造、形状、粗さなど、お客様の表面検査タスクに合わせたさまざまな構成が可能です。Micro.View+は、測定や研究室向けに設計されていますが、純粋なセンサーを統合することで、インラインアプリケーションにも適しています。 3Dトポグラフィを視覚化し、カラーモードを使用して、表面欠陥や文書化など、より意味のある視覚化と差別化を行うことができます。オプションで5MPカメラを使用できます。 包括的なアクセサリーパッケージは、測定を簡素化し、スピードアップします。フォーカス・ファインダーと革新的なフォーカス・トラッカーは、どのような状況下でも、また再ポジショニングの最中でも、常に試験片にピントを合わせます。完全モーター駆動のポジショニング・テーブルは、先端/傾斜を自動的に調整しながら、自動スティッチングと試験をサポートします。 + サブナノメートルの分解能を持つファーストクラスの白色光干渉計 + CST連続スキャン技術による100mmの垂直測定範囲 + 自動生産管理に最適なフォーカス・ファインダーとフォーカス・トラッカー + カラーモードによる専門的な解析と欠陥の文書化 + 特定の構成に対応するモジュール式