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光学式プロフィロメータ TopMap Micro.View3D干渉白色干渉法
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特徴
- 技術
- 光学式, 3D, 白色干渉法, 干渉
- 機能
- ざらつき用, 平坦度測定用, 形状測定用, 幾何学, 周辺, 薄膜分析用, 変形監視
- 応用
- 制御用, 製造ライン用, 半導体用, ろくろ加工部品用, マイクロコンタクトレンズ用, プロファイル用, ブレーキディスク用, 大型部品用, 固形
- 特性
- 産業用, 実験用
- 設定
- 卓上, コンパクト, 移動式
- その他の特徴
- 非接触式, 非破壊式, 自動
詳細
TopMap Micro.View®は、白色光干渉計TopMapシリーズのコンパクトな表面形状測定装置で、微細構造、テクスチャ、仕上げ、面粗さパラメータ（Sa、Sz、...）の再現性の高い高解像度の表面検査を可能にします。 nm以下の分解能で高速に表面をスキャンします！
。 100 ミリメートルの z 方向測定レンジを持つ Continuous Scanning Technology(CST) は、複雑な形状をナノメートルの分解能で測定することを可能にします。この便利な卓上型のセットアップは、測定を容易にして、かつ高速化する高性能のフォーカスファインダを含むエレクトロニクスを持っていることを特徴としています。
拡張された機能を持つコンパクトなフットプリント
ノイズが大きく測定が難しい製造ラインの環境などにおいても、オプションの ECT (Environmental Compensation Technology) を使うことによって、信頼性の高い正確な測定を実現します。
製造や研究の分野において、Micro.View は高い精度で設計された表面を測定するためのコストパフォーマンスに優れた品質を管理するための測定器です。
+ コンパクトなセットアップで表面を測定
+ 3D形状、粗さ、および表面詳細の非接触測定
+ CST (Continuous Scanning Technology) による 100 ミリメートルの z 方向測定レンジ
+ 高いXY分解能
+ Zのサブナノメートルの分解能で測定
+ NEW: 拡張レンズオプション 0.6X ... 111倍が利用可能に
