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... 概要
VK-X4000シリーズは、レーザー共焦点、白色光干渉（WLI）、フォーカスバリエーションを統合した3D光学プロファイリング顕微鏡であり、非接触で高精度な表面・トポグラフィ測定を一つのメトロロジープラットフォームで実現します。システムは多点自動化ルーチンおよび複数特徴の検出をサポートし、作業設定を最小限にしてスループットを向上させます。
主要機能
- 1台で3つの測定原理を搭載：レーザー共焦点、WLI、フォーカスバリエーションにより幅広い材料と形状に対応。
- 多点自動測定：ターゲット座標と倍率を設定して、無人のバッチ測定を実行可能。
- 複数特徴の自動測定：ターゲットの特徴を識別し、測定条件を自動適用して安定した結果を得る。
- AI-Analyzer：数十の表面パラメータを評価し、試料間の差を最も明確に示す指標を抽出して解析を効率化。
- 高い汎用性：金属、フィルム、プラスチック、半導体、医療部品などに適合。
測定原理と特長
- レーザー共焦点：複雑な形状や多様な材料に有効で、難しい形状の局所的な3Dデータを取得可能。
- 白色光干渉（WLI）：非常に微細な表面の垂直方向分解能がsub-nmで、厚さ測定にも高精度を提供。
- フォーカスバリエーション：より広い領域で微細なテクスチャを捉え、透明性や傾斜が制約となる場合の補完手法となる。
多点／自動測定
- ターゲットを選択して複数の測定ポイントを設定すると、機器が位置決めと対物レンズ選択を自動で行う。
- 複数の試料・領域にわたるバッチ測定を繰り返しの手動設定なしで実行でき、サイクルタイムと操作差を低減する。
AI-Analyzer／粗さ解析
AI-Analyzerは多数の表面パラメータ（例：Ra、Rz、ISO基準の各種指標）を比較して、試料の差異を最もよく示す指標を特定し、粗さ指標の選定と結果解釈を迅速化します。
用途と利点
- 電子部品、精密加工、フィルム・コーティング、医療機器、プラスチック等の3D表面プロファイリングおよび粗さ解析。
- 再現性のある自動化ルーチンにより高スループット検査を実現し、品質管理や比較試験に適する。
- 補完的な測定手法を組み合わせることで、平滑なフィルムから粗い複雑形状までほぼすべての表面に対応。
技術仕様
- 商品名：VK-X4000
... 表面の詳細、形状パラメータ、および粗さの複合的な光学3D測定 TopMap Pro.Surf+は、平面度、段差、平行度、表面粗さなどの形状パラメータを評価し、あらゆる表面特性の要求に応えるカスタマイズされたソリューションを提供します。その空間分解能とテレセントリックな光学系は、深部まで到達し、他に類を見ない測定速度とともに、この生産計測ツールの高性能を証明しています。 TopMap Pro.Surf +は優れた空間分解能と、テレセントリックレンズを有するため、あらゆるアプリケーションにおいて、平坦度、段差、平行度などのパラメータを正確に測定できます。 クロマティック共焦点センサと白色光干渉計を組み合わせることによって重要な表面情報の見落としがありません。。測定範囲は44×33 ...
測定範囲: 1 mm
... ハイブリッド3D光学式表面形状測定機Superview WTシリーズは、様々な精密部品や材料の表面をサブナノメートル単位で測定するために使用されます。白色光干渉計と共焦点顕微鏡の2つの高精度3次元測定器の性能を統合し、試料表面を非接触でスキャンし、3次元表面画像を再構築することができます。超平滑で透明な表面を測定する場合、白色光干渉モードを使用することで、高精度で歪みのない画像を得ることができ、粗さなどのパラメータを解析することができる。鋭角な特徴を持つ粗い表面を測定する場合、共焦点顕微鏡モードで大きな角度の3Dトポグラフィー画像を再構築することができ、表面3D画像をソフトウェアでデータ処理・解析することで、表面品質を反映する2D＆3Dパラメータを得ることができる。 ...
... ハイブリッド3D光学式形状測定機Superview WTシリーズは、様々な精密部品や材料の表面をサブナノメートル単位で測定するために使用されます。 様々な精密部品や材料の表面形状測定に使用されます。白色光干渉計と共焦点顕微鏡の 白色光干渉計と共焦点顕微鏡の2つの高精度3次元測定器の性能を統合しています、 試料表面を非接触でスキャンし、3次元表面イメージを再構築します。 超平滑で透明な表面を測定する場合、白色光干渉モードを使用することで 高精度で歪みのない画像を取得し、粗さなどのパラメータを分析するために使用することができます。 鋭角な形状を持つ粗い表面を測定する場合、共焦点顕微鏡モードを使用することで、大角度の3Dトポグラフィー画像を再構成することができます。 大角度の3次元トポグラフィ画像を再構成し、表面品質を反映した2次元・3次元パラメータをデータ処理・解析することにより得ることができます。 ソフトウェアによる表面3D画像のデータ処理と解析により、表面品質を反映する2次元および3次元パラメータを得ることができます。 ...
... 共焦点顕微鏡VT6300は、様々な精密部品や材料表面のマイクロ・ナノレベルの測定に特化した顕微鏡です。平滑から粗面、低反射率から高反射率まで様々な物体の表面、粗さ、平坦度、マイクロジオメトリックプロファイル、曲率などを測定することができます。評価基準として、国内外の4つの主要規格ISO/ASME/EUR/GBTに準拠した300種類以上の2Dおよび3Dパラメータが提供されています。 鋭い斜面の表面 反射率の表面 一括ワンキー分析 300種類の2Dおよび3Dパラメータをサポート ...
... コンパクトフレキシブルパワフル S lynxは、産業および研究用に開発された非接触3D表面プロファイラの新製品です。多用途のコンパクトなシステムとして開発されました。S lynxは様々な表面スケールの異なる表面性状、構造、粗さ、うねりを測定できます。S lynxの多用途性により、幅広い範囲の高品質な表面測定に使用できます。Sensofar独自の3-in-1測定技術により理想的な性能が保証されています。また、関連するSensoSCANソフトウェアにより驚くほど直感的に使用でき、さらに高い性能を補完しています。 用途 - ...
Sensofar Metrology
... 新しい S neox は、性能、機能、効 率、デザインの全ての面で既存の 光学3Dプロファイリング顕微鏡を 凌駕する、クラス最高の面形状計 測システムです。 さらに速く スマートでユニークな新しいアル ゴリズムとカメラにより、全てをさ らに速く実行できます。データ取 得速度は 180fps で、標準測定 時間は5倍も短縮されました。新 しいS neoxは市場で最速の面形 状測定システムです。 使い易く Sensofarでは最高の性能・品質 を提供するため、継続的に製品改 良を行っています。第5世代であ る新しいS ...
Sensofar Metrology
... 完全なアクセシビリティ S neox 5 軸 3D 光学式プロファイラは、高精度の回転モジュールと S neox 3D 光学式プロファイラの高度な検査・解析機能を組み合わせたものです。これにより、定義された位置での自動3D表面測定が可能となり、これらを組み合わせて完全な3D体積測定を作成することができます。 ...
Sensofar Metrology
... New インテグラブル エリア共焦点 ヘッド S mart 2は、市場で唯一の真のエリア共焦点（コンフォーカル）プロファイラであり、高水準の水平方向分解能、精度、再現性がお客様に求められる用途に必須の製品です。そのパワフルな機能とコンパクトなデザインは、光学分野でのブレークスルーとなります。 S mart 2は、 非常に簡単に組込めるように設計されており、演算能力を含むすべてのエレクトロニクスをヘッド内部に搭載しています。 S mart 2には、イーサネットケーブルと電源の2つの接続しかなく、Sensofarのシステムの中で最も簡単に設置できます。 幅が狭く、ユーザーや製造作業を干渉しない場所 ...
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