スタイレットプロフィロメータ NS200

表面粗さ測定用制御用実験用

スタイラスナノプロファイラ NS200 は、表面粗さ、微小プロファイル測定、マイクロ〜ナノの段差高さおよび薄膜厚さの接触式測定装置です。サブオングストローム分解能の変位センサー、超低ノイズ信号取得、微細な動作制御、先進的な較正アルゴリズムを採用し、非常に小さな接触力で様々な表面反射、材料、硬度に対応します。半導体、LED、太陽電池、MEMS、タッチパネル、車載、医療機器の検査に適しています。

用途

• 半導体
  • 堆積膜の段差高さ
  • 薄膜レジストの段差高さ
  • エッチングレート計測
  • 化学機械研磨（腐食、ピッティング、曲がり）
• 大型基板
  • PCBの突起・段差高さ
  • 窓用コーティング
  • ウェーハマスク
  • ウェーハチャックコーティング
  • 研磨プレート
• ガラス基板・ディスプレイ
  • AMOLED
  • LCD開発時の段差高さ測定
  • タッチパネルフィルムや太陽電池コーティング薄膜の厚さ測定
• フレキシブル部品上の膜
  • 有機フォトディテクタ
  • フィルムやガラス上に印刷された有機膜
  • タッチスクリーンの銅配線

特長 / 技術仕様

• 型番：NS200（NS200-Dもあり）
• 試料観察 - 前方観察ナビ：5MPカラーカメラ F.O.V. 2.2 × 1.7 mm（NS200） / 5MPカラーカメラ F.O.V. 10 × 13.4 mm（NS200-D）
• 試料観察 - 側方観察ナビ：5MPカラーカメラ F.O.V. 2 × 2.68 mm（NS200-D、NS200は非対応）
• センサー：超低慣性 LVDC センサー
• 測定力：1–50 mg 調整可
• スタイラス：先端半径 2 μm、角度 60°
• XY移動範囲：モーター駆動 X/Y 150 mm × 150 mm、手動でレベリング調整
• 試料 R-θ ステージ：モーター駆動、連続回転 0–360°
• バキュームチャック：6インチバキュームチャック
• 単一スキャン長：55 mm
• 最大走査範囲：150 mm（XY移動）＋55 mm 走査範囲；最大レンジ 8"
• 最大試料高さ：50 mm
• 最大ウェーハサイズ：200 mm（8"）
• 段差高さ再現性*：5 Å @ レンジ 330 μm / 10 Å @ レンジ 1 mm（段差高さ 1 μm 測定、1δ）
• センサーレンジ：330 μm または 1050 μm（330 μm プローブは磁気式；超大レンジが不要であれば 330 μm を選択）
• 走査速度：2 μm/s ～ 10 mm/s
• 最大スキャンサンプリングポイント：12,000
• 寸法（L × W × H）：NS200：640 × 610 × 500 mm；NS200-D：640 × 650 × 530 mm
• 重量：40 kg
• 電源入力：AC 100–240 V、50/60 Hz、200 W
• 作動環境：湿度 30–40% RH（結露なきこと）；温度 16–25 °C（変動 < 2 °C/h）；床振動：6.35 μm/s（1–100 Hz）；騒音 ≤ 80 dB；気流（層流） ≤ 0.508 m/s（下向き）
• 備考：再現性データは防振テーブルを用いた VC-C 標準ラボで測定；これら条件を満たさない場合、再現性値は2倍となります。