デジタル顕微鏡 VT series

計測学用卓上LED照明

VT6000シリーズ共焦点顕微鏡は、様々な精密デバイスや材料の表面をマイクロ・ナノレベルで測定する装置です。共焦点技術を原理とし、精密Zスキャンモジュールと3Dモデリングアルゴリズムを組み合わせ、デバイスの表面を非接触でスキャンし、3D表面画像を確立します。システムソフトウェアを通じて、デバイス表面の3D画像のデータ処理と解析を行い、デバイスの表面品質を反映する2Dおよび3Dパラメータを得ることができます。このように、デバイスの表面形状を3D測定する光学検出装置を実現します。平滑面から粗面まで、低反射率から高反射率まで、粗さ、平坦度、微細形状、曲率など、ナノからミクロンまであらゆる表面を測定でき、ISO/ASME/EUR/LGBT4つの国内外規格に準拠した300種類以上の2次元・3次元パラメータを評価基準として提供します。