粗度測定機 WD4200

厚さ光学自動

WD4000 シリーズは、ウェーハの厚さ、表面粗さ、マイクロナノ3D微細形状を一度に自動測定することができます。白色光コンフォーカルプローブを使用し、ウェーハ厚さ、TTV、LTV、BOW、WARP、ライン粗さを測定します。白色光干渉プローブを使用し、ウェーハ表面をスキャンして表面の3Dプロファイル画像を作成し、ISO/ASME/EUR/GBT規格に従って粗さと関連する2Dおよび3Dパラメータを分析します。 非接触測定により、ウェーハの上下面に基づく3D形状を再構築します。強力な測定・解析ソフトウェアにより、ウェーハの厚み、粗さ、総厚み変動（TTV）の安定した計算を保証します。