mPRシリーズは、小型高精度ダイレクトドライブステージです。mPRは軽量アルミ製で、ダイレクトドライブサーボモータ、高分解能エンコーダ、高精度ベアリングを組み合わせた小型高精度回転ステージです。
mPRシリーズは、高精度ロータリーベアリング、高分解能ロータリーエンコーダ、3相ACサーボモータを内蔵した小型高精度ダイレクトドライブロータリーステージです。モジュール性、柔軟性、性能を非常にコンパクトなパッケージで提供できるように設計されています。mPRは、直径80mmと104mmの2種類の形状があります。サイズ、高精度、そして上記のすべての特徴を併せ持つmPRは、多くのハイテク産業にとって理想的なポジショナーです。mPRの薄型と高精度は、計測システム、レーザー加工/機械加工、電子機器製造、半導体製造などのアプリケーションに最適です。mPR 80はMX80、mSR 80/100と共通の取り付け機能を持ち、mPR 100サイズは404XRと共通の取り付け機能を持ち、完全な多軸システムに対応します。
市場
- ライフサイエンス
- エレクトロニクス製造
- 半導体
- 光学
特徴/利点
- mPR 80: 80 mm dia.X 75 mm
- mPR 100: 104 mm dia.高さ90 mm
- 360度連続動作
- 4つのエンコーダー分解能(3つのデジタルインクリメンタル、1つのアナログサイン/コサイン)
- 再現性のあるピン止めのための上部と底部のダボ穴
- スルーホール開口部
- MX、mSR、XRステージへのダイレクトマウント機能
- 3メートルのハイフレックスケーブル
- 軽量アルミニウム構造
アプリケーション
- クリーンルーム
- 計測
- フォーカシング
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