熱式質量流量調節器 II

ガス用窒素用ステンレススチール製

概要
Series II Standard 質量流量コントローラは、0.014 sccm〜1,670 slpm の広範囲な流量で精密な測定と制御を提供します。産業用途および研究室用途向けに設計され、マルチガス・マルチレンジ対応、通信インタフェースの選択、耐腐食性の316L 湿潤部品を備えています。

主な特長

• 流量範囲：0.014 sccm〜1,670 slpm
• 高精度：±0.5% 読み値 + ±0.1% FS（レンジにより異なる）
• ターンダウン比：1:50（デジタルモードで最大1:187.5）
• 湿潤材/本体材質：316L ステンレス、表面仕上げ 約0.8 µm
• 通信：アナログまたはデジタル（RS-232、DeviceNet、Profibus-DP、Modbus-RTU）
• バルブ：ノーマルオープンまたはノーマルクローズ

技術仕様

• 最大流量：最大1,670 L/min
• 圧力制御範囲：928 PSIA〜1,450 PSIA
• 接続形式：圧縮接続、フェイスシールオス、他；サイズ 1/8"〜1/2"（6 mm〜20 mm）
• シール材質：EPDM、Kalrez、Viton（標準）
• 精度詳細：±0.5% 読み値 + ±0.1% 全スケール（3〜5 ml/min は ±1% FS；<3 ml/min は ±2% FS）
• 再現性：< 0.2% 読み値
• 立ち上がり時間：2〜4 秒（標準）
• 制御安定性：< ±0.1% FS（1 L/min N2 時の典型値）
• 動作温度：-10 °C〜70 °C
• 温度係数：ゼロ < 0.05% FS/°C；スパン < 0.05% 読み値/°C
• 圧力係数：約0.1 ATM（N2）；約0.01%/ATM（H2）
• リーク率：2 x 10-9 mbar·L/s He 以下（試験済み）
• ウォームアップ：最適精度のため30分；±2% FS は2分
• 保護等級：IP40
• 電源：+15〜24 Vdc、最大消費電流 320 mA（Profibus 使用時は +50 mA）
• 電気接続：9ピン D コネクタ

用途

• ガス供給および混合
• 半導体プロセスおよび研究開発
• 分析機器および校正
• 産業プロセス制御およびパイロットプラント

発注情報

• 流量範囲、校正ガス、接続タイプ/サイズ、シール材、バルブ動作を指定してください
• 通信オプションを選択（アナログ、RS-232、DeviceNet、Profibus、Modbus）
• 付属品：取り付けブラケット、校正証明書、インタフェースケーブル