熱式質量流量調節器

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熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
F4Q

流量: 0.002 l/min - 500 l/min
圧力: 1 bar - 3 bar

... ひとめで制御状態が分かる大型LEDと詳細に制御状態が分かる液晶表示器をはじめとした新たな機能を追加し流量制御の課題を解決する高性能なマスフローコントローラです。 - 精度1%SPを広い流量域で - 0.3sの高速応答を広い流量域で - 低圧ガスでも制御できる低差圧構造 - グッドデザイン賞 2021年度 受賞/iFデザインアワード2022 受賞 - 2024年度計測自動制御学会 新製品開発賞 受賞 デジタルマスフローコントローラ 形 F4Qは、検出部に弊社独自開発の「微小熱式流速センサ」を搭載した高性能デジタルマスフローコントローラです。ひとめで制御状態が分かる大型LEDと、詳細に制御状態が分かる液晶表示器を搭載。 ...

熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
SEC-Z500X series

... ユーザーサイドでガス種・流量レンジの変更ができるマルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル。 ±1.0%S.P. の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、5SCCMから500SLMのワイドレンジを実現しています。通信方法はデジタル/アナログ、DeviceNet™, EtherCAT®通信から選択可能。先端プロセスのみならず、様々な製造プロセスに最適なマスフローコントローラです。  マルチレンジ/マルチガス対応 ユーザーサイドでのガス種・フルスケール流量変更が可能。予備品低減など、コスト削減に貢献します。 ...

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HORIBA STEC
熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
II

流量: 0.014 m³/h - 1,670 m³/h
圧力: 928 Pa - 1,450 Pa
呼び径: 6 mm - 20 mm

... 概要
Series II Standard 質量流量コントローラは、0.014 sccm〜1,670 slpm の広範囲な流量で精密な測定と制御を提供します。産業用途および研究室用途向けに設計され、マルチガス・マルチレンジ対応、通信インタフェースの選択、耐腐食性の316L 湿潤部品を備えています。

主な特長

  • 流量範囲:0.014 sccm〜1,670 slpm
  • 高精度:±0.5% 読み値 + ±0.1% FS(レンジにより異なる)
  • ターンダウン比:1:50(デジタルモードで最大1:187.5)
  • 湿潤材/本体材質:316L
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Parker Precision fluidics Division
熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
​HFM-D-300A

流量: 0 l/min - 25 l/min
圧力: 500 psi

... マスフロー技術は、信頼性、再現性、正確性の高いガス流量測定を可能にします。 HFM-D-300A / HFC-D-302Aは、0-5 sccmから0-25 slmまでの流量レンジを持ち、オールメタルシールを使用し、アナログとデジタルの出力を備え、ステンレススチール製のマスフロー機器です。簡単でユーザーフレンドリーなデジタル通信、ウィンドウズベースのソフトウェアインターフェースをご用意しています。 センサー、バルブ、オーバーフローの自己診断機能は、デジタル機能に含まれています。また、バルブが閉じたことを検知して自動的にゼロをリセットするオートゼロ機能も注目です。これらのマスフローメーターとコントローラーは、異なるレンジとガスの校正を最大10個まで保存できます。また、ユーザーが設定した条件でのガス使用量を監視するトータライザーを内蔵しているのも特徴です。 リークテスト 薄膜蒸着 高純度ガスの供給 サーマルフレームスプレー ガスブレンディング 製薬プロセス ...

熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
HFM-D-301A

流量: 0 l/min - 3,000 l/min
圧力: 500 psi

... マスフロー技術は、信頼性、再現性、正確性の高いガス流量測定を可能にします。 HFM-D-301A/HFC-D-303Aは、0-25 slmから0-1000 slmまでの流量レンジを持ち、アナログおよびデジタル出力を備え、ステンレススチール製です。 Windowsベースのソフトウェアを使用して、簡単でユーザーフレンドリーなデジタル通信が可能です。 利用可能です。 また、柔軟性を高めるために様々なエラストマーシールをご用意しています。 センサー、バルブ、オーバーフローの自己診断機能がデジタル機能に含まれています。また、バルブが閉じたことを検知して自動的にゼロをリセットするオートゼロ機能も注目です。これらのマスフローメーターとコントローラーは、異なるレンジとガスの校正を最大10個まで保存できます。 ...

熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
HFM-D-305A

流量: 0 l/min - 2,500 l/min
圧力: 500 psi

... マスフロー技術は、信頼性、再現性、正確性の高いガス流量測定を可能にします。 HFM-D-305A/HFC-D-307Aは、0-1000 slmから0-2500 slmの流量レンジを持ち、アナログおよびデジタル出力を備え、ステンレススチール製です。 簡単でユーザーフレンドリーなデジタル通信、ウィンドウズベースのソフトウェアインターフェースが利用できます。 また、柔軟性を高めるために様々なエラストマーシールをご用意しています。 センサー、バルブ、オーバーフローの自己診断機能がデジタル機能に含まれています。また、バルブが閉じたことを検知して自動的にゼロをリセットするオートゼロ機能も注目です。これらのマスフローメーターとコントローラーは、異なるレンジとガスの校正を最大10個まで保存できます。 ...

比例流量調節器
比例流量調節器
TLFC

流量: 50 l/min
圧力: 0 psi - 500 psi

... NEW-FLOW Thermomalマスフローメータは高性能を提供します。サーマルテクノロジーは精度、感度、回転数において優位性があり、最新のテクノロジーは信頼性の高いコンパクトなメーターとコントローラーを提供します。TLFCシリーズにはLCDディスプレイ付き、無し、積算計付き流量計があります。全機種リニア0-5VDC及び4-20mA出力付です。TLFCシリーズは0-10SCCMから0-50SLMまでの18レンジで気体の質量流量を測定します(レンジ表参照)。TLFCシリーズは質量流量変換器と電磁比例弁を組み合わせた製品です。バルブはシャットオフバルブとしては推奨されません。コントローラは0-5VDCリニアセットポイント信号をローカルセットポイントポットまたはリモートソースから供給されます。 技術データ タイプLCDディスプレイなし; ...

熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
TMFC

流量: 200 l/min
圧力: 0 psi - 500 psi
呼び径: 1 in

... 技術データ タイプLCDディスプレイなし; LCDディスプレイ&ブルーバックライト付き流量; トータライザーLCDディスプレイ&ブルーバックライト付き流量 接液部材質標準的な流れボディSS316、利用できる選択。Oリング利用できるVitonかFFKM 出力信号: 0~5 VDC の線形最低負荷 1000Ω か 4~20mA 線形、ループ抵抗 500Ω 入力パワー: 24VDC 標準 正確さ: ±1%F.S. (直線性を含む) ターンダウン比:100:1 反復性: ±0.15%F.S.またはそれ以上 電気接続:9ピンサブD プロセス接続1/2 ...

比例流量調節器
比例流量調節器
ULFC

流量: 50 l/min
圧力: 0 psi - 500 psi
呼び径: 0.25 in

... 技術データ 接液材質標準フローボディ-SS316、オプションあり。OリングバイトンまたはFFKMが利用可能 出力信号:0-5VDCリニア最小負荷1000Ωまたは4-20mAリニア、ループ抵抗500Ω 入力電源:標準24VDC、オプション電源15VDC 115VAC、220VAC @500mA 精度: ±1%FS(直線性を含む) ターンダウン比:100:1 再現性:±0.15FS以上 電気接続:9ピンサブ''D'' プロセス接続:1/4 "NPTメス コントロールバルブ電磁N/C(ノーマルクローズ) レンジ0-10 ...

熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
FLEXI-FLOW™

流量: 0.005 l/min - 500 l/min
圧力: max 16.0 bar

... 新しいFLEXI-FLOW™シリーズには安定・高速応答のチップセンサーと高精度・高信頼性のバイパス技術が盛り込まれております。小型で確信的な機器は、マスフロー測定・制御における革新的な進歩です。 マルチパラメータ測定:1つの機器で流量・温度・圧力測定 Bluetoothと包括的なアプリケーションによるシンプルで安全な接続 オンボードガスデータベースとリアルタイムコンバージョンによる優れた精度 NAMURステータス表示によるプロセスに関する情報の常時把握 ...

熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
EL-FLOW® Base

流量: 0 l/min - 200 l/min
圧力: 0 bar - 10 bar

... EL-FLOW® Baseサーマルマスフローコントローラは標準的で簡素な機器です。この製品は一般的なガスを扱う用途に正確な測定、高速応答、安定した制御をもたらします。 EL-FLOW Baseは表面処理や溶接などの(OEM)設備組み込みに適した経済的な選択肢です。 最小レンジ 0.16...8 mln/min 最大レンジ 4...200 ln/min EL-FLOW BaseはアナログI/O、デジタルRS232通信のほか、Modbus-RTUに標準対応致します。EL-FLOW ...

熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
LIQUI-FLOW™

圧力: 100 bar

... LIQUI-FLOW™はスルーフロー型、サーマル式の小流量液体向けデジタルマスフローメータ・コントローラです。LIQUI-FLOW™のデジタルPCボードには自己分析、アラーム、カウンター、デジタル通信(RS232およびオプションで各種バス通信対応)といった機能が含まれます。 特徴 高速応答、高精度 可動部品なし スルーフロー流量測定 低沸点流体にも適用可 姿勢影響なし 小さい内容積 バルブ一体型マスフローコントローラ:安定・連続した流量制御 ...

ガス用流量調節器
ガス用流量調節器
MF6600

流量: 1 l/min - 70 l/min
圧力: 0 MPa - 1 MPa

... MF6600 マスフローメータは、プロセス制御およびモニタリング用の機械式ロータメータに代わるものとして設計されています。微小電気機械システム(MEMS)と産業用モノのインターネット(IIoT)により、MF6600は機械式に匹敵するコストで、バッテリー駆動オプションによる前例のない性能を実現しました。プロセスラインの漏れ検知、ガス温度、ガス自動検知などがその可能性のひとつです。 このメーターは、Siargo独自のMEMS Thermal-D質量流量センシング技術とスマート制御エレクトロニクスで作動します。センサー表面は、性能と信頼性のために、窒化ケイ素セラミック材料と防水・耐油ナノコーティングで不動態化されている。メーター本体はPC+ABS製で、ほとんどのガスアプリケーションに適しています。 仕様 フルスケール流量レンジ空気、N2、O2、Ar:1, ...

熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
flox[on] B series

流量: 1 l/min - 250 l/min
圧力: 16 bar

... FCテクニークはflox[on]シリーズのリニューアルを続けています。そしてここに、FC テクニッ クが開発した新世代のマスフローコントローラーを代表する新しい flox[on] B が登場します。熱式マスフローコントローラの実証された技術に基づき、流入圧力(0-16 bar)および流出圧力に影響されない圧力補償比例バルブによりガス流量を調節します。さらに、経済的な新設計、最適化された高性能マイクロコントローラー、PCでflox[on]を操作できるマイクロUSBポートを搭載し、3つの異なる仕様から選択することができます。 USBポート 新しいUSBポートにより、flox[on] ...

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FCTechnik - Gas Control Systems - flox[on] MFC
熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
flox[on] S series

流量: 1 l/min - 1,200 l/min
圧力: 16, 70 bar

... FCテクニークはflox[on]シリーズのリニューアルを続けています。そして、FC テクニッ クが開発した新世代のマスフローコントローラー flox[on] S の登場です。熱式マスフローコントローラの実証された技術に基づき、流入圧力(0-16 bar)および流出圧力に影響されない圧力補償比例バルブによりガス流量を調節します。さらに、経済的な新設計、最適化された高性能マイクロコントローラー、PCでflox[on]を操作できるマイクロUSBポートを搭載し、3つの異なる仕様から選択することができます。 USBポート 新しいUSBポートにより、flox[on]BをPCに接続することができます。さらにウィンドウズ用ソフトウェアflox[on]を使えば、以下のことが可能です。 - ...

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FCTechnik - Gas Control Systems - flox[on] MFC
熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
flox[on] J

流量: 30 l/min - 5,000 l/min
圧力: 16 bar

... 大流量用マスフローコントローラflox[on] Jの計測は、温度・圧力補償され、低流量域と高流量域で非常に高い制御精度を誇ります。マスフローコントローラの調整制御には、最新設計の圧力補償比例バルブが使用されており、入出口の圧力変動の影響を受けません。flox[on]Jマスフローコントローラは高性能マイクロコントローラーを搭載しています。これにより、非常に迅速でダイナミックな調節が保証されます。 アプリケーション 特にflox[on] Jマスフローコントローラは、最大5000Nl/minの大流量ガス制御用に開発されました。 ...

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FCTechnik - Gas Control Systems - flox[on] MFC
熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
MV-306

流量: 0.4 l/min - 200 l/min
圧力: 0 bar - 10 bar

... 直接熱質量流量測定 高精度 10種類のプリインストールガス 明るくグラフィカルなOLEDディスプレイ デジタルまたはアナログ出力、アラームおよびカウンター機能 高精度ニードルバルブ 特徴 明確な表示 - 実流量(バーグラフと数値) - 希望流量単位 - ガス種 - 積算流量 明るく広角なOLEDディスプレイ 視差エラーなし 温度や圧力の変化に影響されない 圧力変動 低圧力損失 広い流量範囲 高速応答 高精度 設定可能なパスワード保護 アラームとカウンター機能 リレー マルチガス/マルチレンジ 10種類のプリインストールガス 高分解能ニードルバルブ デジタル校正 無料ソフトウェアツール 技術仕様 精度 最大容量の50%以上の流量で±2% ...

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Mass Flow ONLINE BV
熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
SLA58 series

流量: 0 l/min - 2,500 l/min
圧力: 310, 70, 103 bar

... SLA5800シリーズ エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ マスフローコントロールを強化・合理化する 1台あれば、14種類の圧力や流量レートを1つのプロセスで使用できる。そんなマスフローコントローラプラットフォームを想像してみてください。しかも、優れた再現性、精密度、繰り返し出力を備えています。これがSLA5800シリーズマスフローコントローラ/メータの進化したシンプル性能です。 SLA5800シリーズは、マスフロー測定と制御テクノロジーで業界をリードするブルックスインスツルメントならではの高い精度、ゼロ点安定性、繰り返し性を備えています。設定可能な高度なマルチガス/マルチレンジ機能を搭載し、競合製品と比較して優れたゼロドリフト仕様を提供すると同時に、出荷時キャリブレーションと精度を長期的に維持することが実証されています。 特長 長期的なゼロ点安定性:0.2%フルスケール/年以下 高い精度 設定可能なマルチガス/マルチレンジ機能 アクセスしやすい、独立した診断/サービスポート DeviceNet®, ...

比例流量調節器
比例流量調節器
GFCS-01 series

流量: 0 l/min - 1,000 l/min
圧力: 5 psi - 1,000 psi
呼び径: 0.1 in - 0.8 in

... - 1%FS精度が標準 - 堅牢な金属構造 - ヘリウム漏れの完全性 1 x 10-9 sccs - NISTトレーサブル認証 - 傾斜可能なLCD表示器内蔵(一部モデル) - ローカルまたはリモートのセットポイント制御 - 0-5 Vdcおよび4-20 mA信号 - 回路保護 - 積算計オプション GFCは、従来のマスフローデバイスの特性、精度をユニークなコンパクトデザインにまとめ、従来は実現できなかった低価格を実現しました。各コントローラは、非腐食性ガス用にはアルミニウムと真鍮、腐食性アプリケーション用には316ステンレス鋼で構成された流路エレメントと共に、先進的な ...

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Aalborg Instruments
熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
GE50A

流量: 0 l/h - 3,000 l/h
圧力: 150 psi

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MKS Instruments
熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
GSC series

圧力: 0 bar - 11 bar
呼び径: 0.25, 0.5 in

... 信頼性の高い技術と業界標準のインターフェースにより、red-y smartシリーズのサーマルマスフローメータ(MFM)とマスフローコントローラ(MFC)は、特にガス供給システムやプラントエンジニアリング用途での計測と制御に適しています。 正確な計測 マスフローデバイスは高精度と広いダイナミックレンジを提供し、 「Standard」と「Hi-Performance」の2種類の計器バージョンを提供します。 ターンダウン比 1 : 100 (ターンダウン比の拡張はご相談ください) アナログとデジタル Red-yスマートシリーズのマスフローメーターとコントローラーは、最新のMEMS技術を駆使し、デジタル(Modbus ...

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Vögtlin Instruments GmbH – Gas Flow Technology
熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
Compod™ Upgrade

... 新規または既存のSmartTrakをアップグレード 機能性、故障、システムアップセットを監視 ユーザープログラム可能なコントロールモジュール 複数の装置をデイジーチェーン接続 独自のミニプロセス制御システムを構築 概要 多くのお客様がSmartTrakマスフローコントローラにCompodをアップグレードしています!革新的なCompodはSmartTrakの表面に取り付け、PLCやコンピュータを必要としないシンプルなプロセス制御システムを構築します。 システムインテグレータはCompod対応SmartTrak ...

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Sierra Instruments
熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
MF1100B

流量: 0 l/h - 1,200 l/h

熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
M3030VA

圧力: 90 bar

... サーマルマスフローメータ/コントローラは、気体の精密測定と制御に使用されます。これらは主に実験室やパイロットプラントで使用されます。従来の流量計はこのような用途には適していません。 エウレカは、インドにおける熱式質量流量計の組立・校正・販売・サービスにおいて30年以上の豊富な経験を持っています。弊社はプネーに設備の整った組立・校正・サービス拠点を有しております。また、長年にわたってサービスを提供してきた優良な顧客基盤もあります。 弊社は韓国のLinetech社の代理店として、同社の熱式質量流量計とコントローラを販売しています。 流量10 ...

熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
Thermo-Flo™ LC30 series

... この汎用フローコントローラは、1つのフローセンサ入力を受け付け、低流量のポンプやプロセス保護用に1つの16Aリレーを提供します。オプションのフラッシュアラームは、低流量のアラーム状態に注意を喚起します。このフローコントローラは、当社の液体または気体のフロースイッチセンサとパッケージ化されています。 特長 ポンプやバルブを0~60秒の遅延時間でリレー制御するフェイルセーフ機能を搭載 ストロボ(オプション)により、流量アラーム状態を即座に確認可能 PP製の筐体はNEMA 4Xに準拠しており、導管の調整が可能なスイベルベースを装備 センサー、電源、リレーの状態を示すLEDインジケーターで簡単に設定可能 反転スイッチにより、再配線なしでリレーの状態をNOからNCに変更可能 電源電圧:AC120/240V、50-60Hz 消費電力 ...

熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
EX-250S series

圧力: 150,000 Pa - 300,000 Pa

... 特長 □コンパクトマスフローデバイス(W76×D30×H76) □ローコストながら高精度計測 □高速応答で優れたゼロ点安定性 □入出力信号は0-5V又は4-20mA、電源は  ±15V又は24V単一電源から注文時選択可能 □電源コネクタには汎用性の高いD-sub9ピンコネクタを採用 □ロータリースイッチを切り替えることで、本体に登録されているガス種が使用可能  ※流量はN2ガスとの比による計算値 □通信機能を標準装備(RS485) □RoHS・CE規格対応 ...

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KOFLOC Corp.
比例流量調節器
比例流量調節器
MQV series

流量: 0 l/min - 100 l/min
圧力: 5,000 Pa - 400,000 Pa

... デジタルマスフローコントローラ 形 MQV□□□□ は、検出部に弊社独自開発の熱式流速センサである「マイクロフロー™」を使用し、「比例ソレノイドバルブ」と高度なアクチュエータ制御技術を融合した高性能デジタルマスフローコントローラです。 高速制御・広い制御範囲等の要求を実現した高性能な一般産業市場向けコントローラです。 300 ms の高速制御性の実現 100:1の広い制御範囲において、「全閉から設定流量」「設定値変更」いずれにおいても抜群の高速制御性を発揮します。 低差圧での動作を実現 形 ...

熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
PFLOWC5001

流量: 0 l/min - 20 l/min

... ガスマスフローコントローラPFLOWC5001シリーズ(OEMバージョン)は、汎用ガスフローモニタおよび制御アプリケーションに使用できます。 測定レンジ [SCCM] 0~0.05...20 SLPM 出力信号 リニア, 0.5...4.5 VDC, RS232, Rs485 Modbus 精度 [± % FS] max. ±1 r.d.または±0.2 f.s.の大きい方 電源電圧 [VDC] 8.24湿度範囲 0.95% RH、結露なきこと サプライヤー Angst+Pfister センサー&パワー ...

熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
PFLOW5002

流量: 0 l/min - 20 l/min

... PFLOW5002 / PFLOWC5002 シリーズのガスマスフローコントローラは汎用のガスフローモニタ及び制御アプリケーションに使用できます。機械的接続には標準タイプとマニホールドタイプがあります。 測定レンジ [SCCM] 0~0.05...20 SLPM 出力信号 リニア, 0.5...4.5 VDC, RS232, Rs485 Modbus 精度 [± % FS] max. ±1 r.d.または±0.2 f.s.の大きい方 電源電圧 [VDC] 8...24 湿度範囲 0.95% RH、結露なきこと サプライヤー Angst+Pfister ...

質量流量調節器
質量流量調節器
EL-FLOW

流量: 0 l/min - 25 l/min
圧力: 10 bar

... これらのガスマスフローコントローラー及びメーターは圧力反応器と組み合わせることにより、真空から64 barの動作圧力で0.16~8 mln/min及び0.5~25 ln/minの流量範囲を正確に測定及び制御することができます。 マスフローコントローラは、熱式マスフローセンサ、精密制御バルブ、信号及びフィールドバス変換機能を備えたマイクロプロセッサベースのPCボードで構成されています。 設定値の関数として、流量コントローラーは目的の流量を迅速に調整します。 これらのマスフローコントローラの主な特徴は以下の通りです: 高精度 高速応答、優れた再現性 オプションのマルチ流体/マルチレンジ機能 圧力、温度に依存しない コンパクト設計 EL-FLOW ...

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