熱式質量流量調節器 GE50A

ガス用

GE50Aのディジタル式のマスフローのコントローラーはRS485、Profibus™、EtherCAT、またはDeviceNet™入力/出力と利用できる。 デジタル制御の電子工学は装置制御文字の範囲中のセット・ポイントへの速く、反復可能な応答のために最も最近のMKSの制御アルゴリズムを利用する。 典型的な応答時間は500ミリ秒の順序にある。 デジタル口径測定は口径測定のガスのセット・ポイント正確さの1%をもたらす。 入力/出力の議定書はGE50Aが容易にマイナーなコーディングとMKS 1179A MFCのRS485そしてDeviceNet版を取り替えるように設計されている。 標準的な3インチの足跡は変更の既存のガス管線構成なしで使用を可能にする。 GE50Aは少数のエラストマーを- 1つのただ外的なエラストマーのシールおよびエラストマー弁プラグ組み込む。 すべてのぬらされた表面は金属である。 GE50Aは異なったガスの条件を支えるViton®のシールまたは任意ブナとの標準、Neoprene®またはKalrez®来る。