熱式質量流量調節器 P2 MFC

サワーガス用デジタル

MKSの器械によって製造されたPFC-60 ΠMFCは特に腐食性のガスに使用するデジタル熱マスフローのコントローラーである。 装置は機能性および性能の点では技術の改善から成っている。 それらは半導体および高い純度の薄膜の適用のユーザーを助ける。 装置のフロー制御は上下流の妨害に無感覚である。 ガスの流れおよび正確さのリアルタイム制御は改善される。 それらはPIDによって基づくデジタルMFCsよりよい部屋を一致することを有する。 圧力センサーおよびLED表示はガスの棒で必要とされる部品を減すために結合される。 現場MFC'Sの組み立てそしてトラブルシューティングはWEBベースのブラウザインターフェイスが原因である。