空気圧式流量調節器

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比例流量調節器
比例流量調節器
OF series

流量: 0 l/min - 90 l/min
圧力: 0 bar - 10 bar
呼び径: 0.13 in

... オープンフレーム比例コントローラーは、流量、圧力、位置のクローズドループ制御を提供します。インダストリー4.0アプリケーション向けに設計されています。 このシステムは、2つのベースモジュールで構成されています:HEADとEXPANSIONの2つのベースモジュールで構成され、アプリケーションのニーズに応じて個別に組み合わせることができます。 ベース機能 圧力センサーと校正済みオリフィスを用いた流量制御 Headモジュールを単独で使用すると、閉ループ構成で2方向の流量制御弁を作成することができます。 ...

質量流量調節器
質量流量調節器
MV-302

圧力: 0 bar - 10 bar

... 表示器一体型ガス用マスフローレギュレーター 直接熱マスフロー測定 高精度 10種類のプリインストールガス 明るくグラフィカルなOLEDディスプレイ デジタルまたはアナログ出力、アラームおよびカウンター機能 高精度ニードルバルブ 特徴 明確な表示 - 実流量(バーグラフと数値) - 希望流量単位 - ガス種 - 積算流量 明るく広角なOLEDディスプレイ 視差エラーなし 温度や圧力の変化に影響されない 圧力変動 低圧力損失 広い流量範囲 高速応答 高精度 電子出力 - ...

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Mass Flow ONLINE BV
質量流量調節器
質量流量調節器
MV-304

圧力: 0 bar - 10 bar

... 表示器一体型ガス用マスフローレギュレーター 直接熱マスフロー測定 高精度 10種類のプリインストールガス 明るくグラフィカルなOLEDディスプレイ デジタルまたはアナログ出力、アラームおよびカウンター機能 高精度ニードルバルブ 特徴 明確な表示 - 実流量(バーグラフと数値) - 希望流量単位 - ガス種 - 積算流量 明るく広角なOLEDディスプレイ 視差エラーなし 温度や圧力の変化に影響されない 圧力変動 低圧力損失 広い流量範囲 高速応答 高精度 電子出力 設定可能なパスワード保護 アラーム・カウンター機能 リレー マルチガス/マルチレンジ 10種類のプリインストールガス 高分解能ニードルバルブ デジタル校正 無料ソフトウェアツール アプリケーション MASS-VIEW®マスフローメータの応用分野は多岐にわたります: バーナー制御 ...

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Mass Flow ONLINE BV
熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
MV-306

圧力: 0 bar - 10 bar

... 表示器一体型ガス用マスフローレギュレーター 直接熱マスフロー測定 高精度 10種類のプリインストールガス 明るくグラフィカルなOLEDディスプレイ デジタルまたはアナログ出力、アラームおよびカウンター機能 高精度ニードルバルブ 特徴 明確な表示 - 実流量(バーグラフと数値) - 希望流量単位 - ガス種 - 積算流量 明るく広角なOLEDディスプレイ 視差エラーなし 温度や圧力の変化に影響されない 圧力変動 低圧力損失 広い流量範囲 高速応答 高精度 電子出力 - ...

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Mass Flow ONLINE BV
電子流量調節器
電子流量調節器
9055

... モデル9055 EFC 電子式フローコントロール EXAIRのEFCは、ブローオフ、乾燥、冷却、搬送、除電の各作業で圧縮空気の使用を最小限に抑えるよう設計された、使いやすい圧縮空気用電子流量制御装置です。EFCは、光電センサーとタイミング制御を組み合わせ、部品が存在しないときにエアコントロールバルブをオフにして圧縮空気の使用を制限します。タイミング制御は、検知距離の柔軟性を提供しながら、アプリケーションの要件に合わせて簡単に調整できます。最大350 SCFMの流量のアプリケーションを改善するために利用可能です。 用途 ...

容量式流量調節器
容量式流量調節器
IFC

圧力: 500 mbar
呼び径: 10 mm - 25 mm

... 連続調整バーナープロセス制御用リニアフローコントロール、入力信号と流量のリニア比、制御比25:1、ガス及び空気用、アクチュエータIC20又はIC40付き、EU認証取得済み。 連続調整バーナプロセス制御用リニアフローコントロール 特長と利点: 流量に対する入力信号のリニア比 制御比25:1、ガス及び空気用 IC20またはIC40アクチュエータ付き EU認証 サイズ: 1 ...

容量式流量調節器
容量式流量調節器
RFL L series

流量: 155, 450, 850 l/min
圧力: 10 bar
呼び径: 4 mm - 8 mm

... RLF Lは、空気圧アクチュエーターの空気入力と速度を調整するマイクロレギュレーターで、LINE ON LINE®ファミリーに属し、他のすべての製品と直列または並列に接続できます。タイプU(一方向性)は、空気の流れの2方向のうち1方向のみを調節します。以下のタイプのフィッティングを取り付けることができます。 - プッシュイン式入力および出力フィッティング - プッシュイン式の入力継手と排気側のねじ込みポート(シリンダータイプ) - Bタイプ(双方向)は、空気の流れの両方向の流量を調整します。以下のタイプの継手を取り付けることができます。 - ...

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METAL WORK
空気圧式流量調節器
空気圧式流量調節器
MRF series

流量: 150 l/min - 2,000 l/min
圧力: 0 bar - 10 bar
呼び径: 4 mm - 12 mm

... - 小型化 - 優れた調整機能 - ドライバーと使い捨てのいたずら防止キャップで調整(COMPACT O) - ドライバーまたはノブで調節、リングナットで固定可能(COMPACT N) - すべてのサイズ(M5~1/2")で、真鍮またはテクノポリマー製リングが利用可能。 - 自動ドライバーで取り付け可能 - MRFを装着したままでも回転可能なリング付き 1パッケージあたりの数量:10個 最小発注量10 単位:個 最高温度(°C):70 最低温度(℃): -10 ねじ込み式ポートM5 ...

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METAL WORK
容量式流量調節器
容量式流量調節器
MRF series

流量: 500 l/min - 1,200 l/min
圧力: 0 bar - 10 bar
呼び径: 4 mm - 12 mm

... フローマイクロレギュレータの仕事は、空気圧シリンダ内の速度を調整することである。Cタイプ(シリンダー入口に取り付ける)とVタイプ(バルブポートに取り付ける)は、供給時に流量が確保され、排出時に流量が調整されるような構成になっています。Bタイプ(双方向性)は、供給側と排出側の両方の流量を調整するために使用することができます。フローマイクロレギュレーターは4つのシリーズに分けられます。 - MRF COMPACT O:ドライバーで調整可能、調整ピンは特殊なアンチバイブレーショングリースで潤滑されており、寸法が小さく、最初の1回転で微調整可能、工具を使って取り外せる使い捨てキャップ(別売)を組み立てることで調整を防ぐことができます。 - ...

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METAL WORK
ガス用流量調節器
ガス用流量調節器
Steel line Series

圧力: 12 Pa

電子流量調節器
電子流量調節器
CFC

流量: 0 l/min - 15 l/min
圧力: 60 psi
呼び径: 0.2 mm - 1.8 mm

... 超高分解能で再現性の高いクローズドループシステム内での精密なリニアフロー制御。 Cordisフローコントローラは、比例弁の上流にある非常に高速反応なmemsテクノロジーセンサーを利用しており、小型パッケージで正確かつ正確な圧力制御のためのDR-2レギュレータのオプションが付いています。30分のウォームアップ時間、大きな差圧、限られた流量範囲を必要とする他のマスフローコントローラとは異なり、コーディスは1分未満のウォームアップを必要とし、その圧力損失は≤14 "H2Oであり、流量範囲は0~30 ...

差圧流量調節器
差圧流量調節器
AS-FS series

圧力: 100,000 Pa - 1,500,000 Pa
呼び径: 2 mm - 16 mm

・流量の数値管理で「作業工数削減」「設定ミス低減」に貢献  流量を数値管理可能な目盛窓  4方向から選択可能な視認性を考慮した配置 ・大型化されたプッシュロック式ハンドル ・流量の再現性が向上 ・無電解ニッケルめっき仕様を標準化

熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
8626

流量: 20 l/min - 1,500 l/min
圧力: 0 bar - 10 bar
呼び径: 0.25 in - 1 in

マスフローコントローラ(MFC)タイプ8626は、大量のガスのマスフローを制御するのに適しています。ガスフロー中に直接配置された熱式インラインセンサーは、非常に速い反応時間を実現します。Bürkertの直動比例バルブは、アクチュエータとしての高応答感度を保証します。内蔵型PIコントローラは、MFCの優れた制御特性を保証します。タイプ8626は、オプションとして2つの異なるガスに対して較正することができ、ユーザはその間を切り替えることができます。電気的インターフェースとして、アナログ標準信号とフィールドバスの両方をご利用いただけます。マスフローコントローラタイプ8626は、汚れに対する低感度、高IP保護クラスによって厳しい環境での使用に特に適しています。 ...

容量式流量調節器
容量式流量調節器
AS series

圧力: 300,000 Pa - 700,000 Pa
呼び径: 0.3 mm - 12 mm

... プッシュロック式でセットアップが簡単 - 最大限のエア消費量削減のため、本製品はAS-Q/AS-Rシリーズと併用する必要があります。 - ポートサイズ:1/8、1/4、3/8、1/2 - 適用チューブ外径Ø 6~Ø 12 mmおよびØ 1/4"~Ø 1/2" - 使用圧力範囲 0.3~0.7 MPa ...

熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
EL-FLOW® Base series

流量: 0 l/min - 200 l/min
圧力: 10 bar

EL-FLOW® Baseサーマルマスフローコントローラは標準的で簡素な機器です。この製品は一般的なガスを扱う用途に正確な測定、高速応答、安定した制御をもたらします。 EL-FLOW Baseは表面処理や溶接などの(OEM)設備組み込みに適した経済的な選択肢です。 最小レンジ 0.16...8 mln/min 最大レンジ 4...200 ln/min EL-FLOW BaseはアナログI/O、デジタルRS232通信のほか、Modbus-RTUに標準対応致します。EL-FLOW ...

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Bronkhorst
質量流量調節器
質量流量調節器
FLEXI-FLOW

流量: 1 l/min - 20 l/min
圧力: 0 bar - 17 bar

... FLEXI-FLOWコンセプトは、様々な多チャンネルのマスフロー&プレッシャーメーター/コントローラーを1つのマイクロ流体システムに統合する、OEM顧客向けの受注生産設計のオプションを提供します。マスフローメーターやコントローラー、圧力メーターやコントローラー、シャットオフバルブ、ミキシングチャンバーといった機能モジュールを1つのコンパクトなサブシステムに構成することが可能です。このような「プラグ&パフォーマンス」アセンブリは、スペース効率、コスト削減、潜在的なリークポイントを最小限に抑えることを保証します。 代表的なアプリケーション例:バイオプロセスのガス供給、分析システムの流量/圧力制御、燃料電池スタックのリークテストなど。 FLEXI-FLOW ...

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Bronkhorst
質量流量調節器
質量流量調節器
FLOW-SMS

流量: 0 l/min - 50 l/min
圧力: 2 mbar - 10,000 mbar

... コンパクトで軽量、かつ堅牢なマウントレールシステムに、1つまたは複数のマスフローセンサーや圧力センサーモジュールを、コントロールバルブ、シャットオフバルブ、ミキシングチャンバー、フィルター、その他お客様のご要望に応じた機能モジュールと組み合わせることができます。仕様についてはご相談に応じます。流量センサーのレンジは、約5mln/minから50ln/minまたはそれ以上まで選択可能です。圧力センサーが付属する場合、圧力レンジは0~100mbar、0~10barの絶対圧またはゲージ圧から選択可能です。 特徴 ...

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Bronkhorst
比例流量調節器
比例流量調節器
VP6010LJ461MB200

流量: 1,200 l/min
圧力: 0 bar - 16 bar

... ゼロクロスオーバーで校正されたリニアな流量特性 設定値入力の選択:4~20mA、±5V、0~10V、固定値、ファンクションジェネレーター、オプションのProfibus DP シリコンフリー(P-VW 3.10.7/01.92テスト仕様準拠 高速ダイナミックレスポンス 診断機能 CE準拠 89/336/EEC 媒体: - 圧縮空気 ポートサイズ: - G1/4 動作温度: - 0 ...60 °C 動作温度(液体): - 60 ...5 °C 保護等級: - IP65 ...

質量流量調節器
質量流量調節器
GR-511F

圧力: 3, 4 bar

... 静電チャック方式で固定されたウェーハの裏面を冷却するためのガスを制御することができます。 GR-511Fは、安定性と精度の高さから、ウェーハ冷却システムにおけるヘリウムやアルゴンの流量制御に最適な装置です。 特長 より安定した精度の高い圧力制御 マスフローセンサー搭載(オプション) 各種フィッティングに対応 RoHS指令対応 応用例 GR-511Fは、静電チャック装置で固定されたウェーハの裏面を冷却するためのガスを制御している例である。 ...

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HORIBA STEC
熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
F4Q

流量: 0 l/min - 50 l/min
圧力: 1 bar - 3 bar

... デジタルマスフローコントローラー model F4Qは、当社独自の「マイクロサーマルフローセンサー」を搭載した高性能デジタルマスフローコントローラーです。 制御状態が一目でわかる大型LEDと、状態を詳細に表示するLCDを搭載。 広い流量範囲でより高い精度を実現しました。 流量制御の問題点を解決する新機能を搭載。 *制御状態がひと目でわかる LEDインジケータの色と状態(点滅など)で、制御の状態がわかります。 情報量の多いLCDで、制御状態を詳細に把握できます。 *広い流量範囲で1 ...

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Azbil Europe NV
質量流量調節器
質量流量調節器
F4H

流量: 0 l/min - 60 l/min
圧力: 20,000 Pa - 300,000 Pa

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Azbil Europe NV
質量流量調節器
質量流量調節器
MPC

流量: 0 l/min - 20 l/min
圧力: 0 Pa - 500,000 Pa

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Azbil Europe NV
空気圧式流量調節器
空気圧式流量調節器
CFM360 series

圧力: 1 bar
呼び径: 6, 8 mm

... シリンダーやコンプレッサーの接続口に直接取り付けて、流量をコントロールすることができます。 ジョンゲストのバンジョーの流れ制御(手動調節)の押し適合はシリンダー港に空気シリンダーおよびアクチュエーターの速度を調整することによって精密な制御を与えるために直接取付けられます。ジョン ゲスト制御は締まる前に回路の整理のための適した位置に方向づけることができる端正で密集したアセンブリを提供します。この設計では、ハウジング内の制御針を通して、特に正確な調整が可能です。 継手はジョンゲストナイロン、パウダーコーティングされたアルミニウムやLLDPEチューブだけでなく、銅、PEXaと他の柔らかい金属パイプ材と互換性があります。すべてのジョンゲストの継手は、英国で製造され、組み立てられています。 機能と利点 手動調整流量制御 アセタールコポリマー、真鍮、ステンレス鋼、ニトリルから作られています。 優れた流量特性で気密性の高い接続 インスタントプッシュフィット接続で、工具なしで脱着可能 空気および不活性ガスに最適 軟質金属またはプラスチック製のパイプ/チューブに対応 用途 空気 用途 シリンダーやコンプレッサーの接続口に直接取り付けて、流量をコントロールします。 適合性 ナイロン、粉体塗装アルミパイプ、LLDPEチューブ、銅、PEXa、その他の軟質金属パイプに使用できます。 技術仕様 標準仕様 ...

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JOHN GUEST
ダイヤフラム式流量調節器
ダイヤフラム式流量調節器
TORK-GR20 Series

流量: 10, 15, 20 m³/h
圧力: 0 mbar - 500 mbar
呼び径: 1 mm

ダイヤフラム式流量調節器
ダイヤフラム式流量調節器
TORK-GR30 Series

流量: 20, 25, 35, 85, 135 m³/h
圧力: 0 mbar - 1,000 mbar
呼び径: 1 in - 2 in

... 用途 : 天然ガス、LPG、メタン、プロパン、ブタン、都市ガス、空気、非攻撃的な気体 サイズ: 1/2"...2" 圧力 : - 0-1000mbar 出力圧力調整範囲:- 10-500mbar 本体 : アルミニウム 温度 : -10°C...50°C ...

ダイヤフラム式流量調節器
ダイヤフラム式流量調節器
GR60 series

流量: 20, 25, 35, 85, 135 m³/h
圧力: 0 mbar - 1,000 mbar
呼び径: 1 in - 2 in

... 用途 : 天然ガス、LPG、メタン、プロパン、ブタン、都市ガス、空気、非攻撃的な気体 サイズ: 1/2"...2" 圧力 : - 0-1000mbar 出力圧力調整範囲:- 10-500mbar 本体 : アルミニウム 温度 : -10°C...50°C ...

差圧流量調節器
差圧流量調節器
DPC200

圧力: 0 Pa - 6,000 Pa

... 動作モードの切り替え(測定または制御) 測定変数の切り替え(差圧または体積流量) 測定単位の切り替え(Paおよびm3 / hまたはInH2Oおよびcfm) 4つのアプリケーションに対応したプリセット測定範囲 アナログ出力 0〜10 V 体積流量計算のためのkファクターが調整可能 リミット調整可能な測定モード 調整可能な制御モード 2つの設定値 外部信号入力オプションにより設定値の設定が可能 PIアルゴリズム用PIパラメータ 最大出力電圧 制御効果 正/加熱または負/冷却 GRILLO-DPC ...

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Arthur Grillo GmbH
Modbus流量調節器
Modbus流量調節器
DPC200-MOD

圧力: 0 Pa - 6,000 Pa

... 電気機械式ダイアフラム測定システム Modbus通信による設定 選択可能な測定値(差圧または体積流量) 選択可能な単位 (Pa / InH20 または m3/h または cfm) 選択可能な制御モードまたは測定モード 調整可能な制御モード:設定値、最大出力電圧、PIアルゴリズムのPとIパラメータ、ダイレクトまたはインバースセンス 体積流量計算のための調整可能なkファクター アナログ出力 0~10 V DPC200-MODは、HVAC産業で必要とされる機能を1つのデバイスにバンドルするために開発されました。正確な差圧センサーとして、圧力と風量の両方の測定値を送信することができます。統合されたPI制御ロジックは、圧力と気流を常に制御しなければならない分散型閉ループ制御システムにおいて重要なコンポーネントです。 追加のModbus ...

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Arthur Grillo GmbH
差圧流量調節器
差圧流量調節器
DPC310

圧力: 0 Pa - 6,000 Pa

... 電気機械式ダイヤフラム測定システム アナログ出力 0~10 V 選択可能な測定値(差圧または体積流量) 選択可能な単位(メートルまたはインペリアル) 体積流量計算のkファクター調整可能 制御モードまたは測定モード選択可能 リミット値調整可能な測定モード 調整可能な制御モード 2つの設定値 外部信号入力オプションにより設定可能: - 10 V DC信号または温度センサー PIアルゴリズム用PIパラメータ 最大出力電圧 制御効果 正/加熱 または 負/冷却 GRILLO-DPC差圧コントローラ/ボリュームフローコントローラは、非攻撃性ガス、特に空気の低差圧の測定と制御に使用されます。アナログ出力として0~10Vの信号が得られます。装置の設定により、この信号は異なる意味を持ちます。圧力センサーとして使用する場合、出力信号は測定圧力に比例します。体積流量センサーとして使用される場合、装置はルート装備の出力信号を提供します。圧力または流量制御では、出力信号はPI制御の操作変数を表します。 例えば、空調技術において、ファンの制御、室圧の監視、フィルターの制御などに使用されます。アナログ出力に加え、限界値監視やフィルター監視のためのアラーム出力(オープンコレクタ)も利用できます。 ...

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Arthur Grillo GmbH
容量式流量調節器
容量式流量調節器
ET2000

圧力: 40 bar
呼び径: 0 in

... タッピングポイント圧力レギュレータ 非腐食性工業用ガス用高精度 単段タイプ高精度 圧力調整器の中央フィルタ DIN EN ISO 5171 小型設計 軽量 ...

容量式流量調節器
容量式流量調節器
RF

流量: 60 l/min - 1,400 l/min
圧力: 2 bar - 10 bar
呼び径: 0.1 in - 0.5 in

... インラインフローレギュレータは、空気圧シリンダの速度を調整し、それらはすることができます。 一方通行:規制は一方通行 2つの方法:規制は2つの方法がある フローレギュレータは、パネル/ボードに取り付けることができます。 ...

容量式流量調節器
容量式流量調節器
NSC

流量: 45 l/min - 2,200 l/min
圧力: 10 bar
呼び径: 4 mm - 12 mm

差圧流量調節器
差圧流量調節器
RFX

流量: 2,300 l/min - 5,200 l/min
圧力: 1 bar - 16 bar

差圧流量調節器
差圧流量調節器
TLFC

流量: 50 l/min
圧力: 0 psi - 500 psi

... NEW-FLOW Thermomalマスフローメータは高性能を提供します。サーマルテクノロジーは精度、感度、ターン品質において優位性があり、最新のテクノロジーは信頼性の高いコンパクトなメーターとコントローラーを提供します。TLFC SériésはLCDディスプレイの有無、または積算計LCDディスプレイ付き流量計です。リニア0-5VDCおよび4-20mA出力付き。 TLFCセリエは0-10 SCCMから0-50 SLMまでの18レンジのガス流量を測定します。TLFC ...

熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
TMFC

流量: 200 l/min
圧力: 0 psi - 500 psi
呼び径: 1 in

... New-Flowは、温度、圧力、流量、レベル、バルブの測定と制御のための多種多様な製品を提供しています。 用途:非腐食性ガス用 出力信号:0~5VDCリニア最小負荷1000Ωまたは4~20mAリニア、ループ抵抗500Ω 入力電源:24VDC標準 プロセス接続: ½"NPT メス 制御信号インテグラルまたは0~5 VDC 制御バルブ電磁N/C (標準閉) ...

熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
ULFC

流量: 50 l/min
圧力: 500 psi
呼び径: 0.3 in

... New-Flowは、温度、圧力、流量、レベル、バルブの測定と制御のための多種多様な製品を提供しています。 サービス非腐食性ガスでの使用 出力信号:0~5VDCリニア最小負荷1000Ωまたは4~20mAリニア、ループ抵抗500Ω 入力電源: 標準24VDC; オプション電源15VDC 115VAC、220VAC@500mA プロセス接続: ¼"NPTメス 制御信号インテグラルまたは0~5VDC 制御バルブ電磁式N/C(ノーマルクローズ) ...

比例流量調節器
比例流量調節器
KD500-1A MAPY

流量: 230 l/min - 1,115 l/min
圧力: 0 bar

... ワールドマーケットリーダーが提供する品質 ガス量の自動制御により、ガス消費量を最大30%節約できます。 非破壊ガス分析でパッケージの品質を保証する ジルコニアセンサーによるO2濃度の永久制御 最小/最大アラームのリミット設定 食品用ガスに関する規制(EC)No 1935/2004に準拠し、DIN EN ISO 22000に準拠した認証を取得しています。 食品産業におけるフローラップマシン用の改質雰囲気や、果物や野菜の貯蔵などの室内雰囲気のための電子流量制御システム。 コストダウンを図る。 ...

質量流量調節器
質量流量調節器
DPC series

流量: 0 l/min - 1,000 l/min
圧力: 1 psi - 145 psi
呼び径: 0.1 in - 0.8 in

... 温度および圧力 設計 機能を備えたデジタルマスフローコントローラ • マルチガス機能:90種類のガスおよびガス混合に対応。 •「ユーザー定義混合物」機能は、最大5つの異なるガスごとに20個のカスタムガスミックスを作成し、保存することができます。 • 素早い(100~150ミリ秒)応答時間。1n標準精度±(0.5% RD + 0.2% FS)。n 200対1のターンダウン比。 • プログラマブルな質量流量トータライザ2個。 •質量流量、温度、圧力のアクション遅延がプリセットされた高、低、またはインレンジアラーム。 ...

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Aalborg Instruments
熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
GFC

流量: 0 l/min - 1,000 l/min
圧力: 5 psi - 1,000 psi
呼び径: 0.1 in - 0.8 in

... デザインの特徴 - FS精度は±1%が標準 - 硬質金属構造 - 0~10sccmから0~1000slpmまでの流量範囲が利用可能 - 最大圧力1000 psig (70 bar) - リークインテグリティ 1 x 10-9 sccs のヘリウム - NISTトレーサブル認証 - 傾斜可能なLCD読み出し機能を内蔵(一部機種 - 局所的または遠隔的な設定点制御 - 0-5 Vdcおよび4-20 mA信号 - 回路保護 - 積算器オプション LCD 表示はまたリモート・ディスプレイと提供される任意です アルミモデルをご用意しております。 GFC型サーマルマスフローコントローラは、ガスの設定流量を表示し、制御するように設計されています。 GFCは、従来のマスフロー装置の特性と精度をコンパクトなデザインにまとめ、従来では実現できなかった低コストを実現しました。これらのコントローラには、非腐食性のガス用にはアルミニウムと真鍮、腐食性のアプリケーション用には316ステンレス鋼で構成された流路エレメントと組み合わせて、高度な直管センサーが組み込まれています。ゼロ調整とスパン調整は、トランスミッタの外側からアクセス可能です。 動作原理 計量されたガスは、2つの層流路に分かれており、1つは一次流路を通る流路で、もう1つはキャピラリーセンサーチューブを通る流路です。両方の導管は層流を確保するように設計されているため、それらの流量の比率は一定です。 センサチューブ上の2つの精密温度検出用巻線を加熱し、流れが発生するとガスが上流から下流の巻線に熱を伝え、その結果生じる温度差は、センサ巻線の抵抗値の変化に比例します。その結果生じる温度差は、センサ巻線の抵抗値の変化に比例します。 ...

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Aalborg Instruments
熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
DFC

流量: 0 l/min - 100 l/min
圧力: 1,015 psi

... デジタル信号処理を備えたDFCプログラマブルサーマルマスフローコントローラ 設計は、 ジジタルおよびアナログモードが プログラマブルな フロー構成を操作します。0〜10 sccmから0 〜100 slpmoma最大1000psig(70barの)オムルトロップの圧力最大256ユニットの能力は、最大 10個の ガスのための校正データをostaesのototalizerは、最大 256個のガスのための高および低ガスの流出係数の総ガス量警報限界を示し、 最適な制御応答 oself診断テストのためのoautoチューニング機能 DFCデジタルマスフローコントローラ マイクロプロセッサ駆動のデジタル・フロー・コントローラにより、RS-485インタフェースを介してコンピュータを使用して各種ガスの流量をプログラミング、記録、分析することができます(オプションのRS-232も利用可能)。 ...

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Aalborg Instruments
熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
SLA58 series

流量: 0 l/min - 2,500 l/min
圧力: 310, 70, 103 bar

SLA5800シリーズ エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ マスフローコントロールを強化・合理化する 1台あれば、14種類の圧力や流量レートを1つのプロセスで使用できる。そんなマスフローコントローラプラットフォームを想像してみてください。しかも、優れた再現性、精密度、繰り返し出力を備えています。これがSLA5800シリーズマスフローコントローラ/メータの進化したシンプル性能です。 SLA5800シリーズは、マスフロー測定と制御テクノロジーで業界をリードするブルックスインスツルメントならではの高い精度、ゼロ点安定性、繰り返し性を備えています。設定可能な高度なマルチガス/マルチレンジ機能を搭載し、競合製品と比較して優れたゼロドリフト仕様を提供すると同時に、出荷時キャリブレーションと精度を長期的に維持することが実証されています。 特長 長期的なゼロ点安定性:0.2%フルスケール/年以下 高い精度 設定可能なマルチガス/マルチレンジ機能 アクセスしやすい、独立した診断/サービスポート DeviceNet®, ...

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Brooks Instrument
質量流量調節器
質量流量調節器
GF1 series

流量: 0 l/min - 300 l/min
圧力: 7 psi - 90 psi

半導体プロセス向けの最適なパフォーマンス リアルタイムの診断力が埋め込まれた、EtherCAT® データ収集機能 超安定性のあるフローセンサ (セットポイントの≤ 0.15%、1年ごとに)により、 低いセットポイントにおける精度が上がり、メンテナンスの要求度も低減されます バルブシャットダウンを改良し (ビンレンジの≤ 0.15%)、ファーストウエハエフェクトを低減させるため、バルブリークバイを減らしました 新たに強化された圧力変動耐性(PTI)により、クロストークの感度が減り、一貫したマスフロー供給が実施されます 特徴 長期間のゼロ点安定性、±0.15% ...

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Brooks Instrument
差圧流量調節器
差圧流量調節器
GP200

圧力: 0 psi - 150 psi

GP200シリーズは、半導体製造における高度なエッチングやデポジションのプロセスに特化して設計された、業界初の完全圧力不感応タイプの圧力ベースのマスフローコントローラ(P-MFC)です。 GP200シリーズP-MFCは、従来のP-MFCの限界を克服し、低蒸気圧のプロセスガスでも高精度なプロセスガス供給を可能にする特許取得済みのアーキテクチャを採用しています。GP200シリーズは、差圧センサーを内蔵し、下流側にバルブを配置するなど、独自の設計を採用することで、業界で最も広い範囲の動作条件で高精度のプロセスガス供給を可能にしています。 GP200シリーズは、幅広いプロセス条件に対応しているため、従来のP-MFCやサーマルMFCの代替品やアップグレード品として使用することができます。また、圧力調整器や変換器などの部品が不要になるため、ガス供給システムを簡易化し、コストを低減することができます。 GP200シリーズのデザインの詳細と、その仕組みをご紹介します。 特徴 差圧のダイレクト測定 低供給圧動作 最先端のバルブアーキテクチャ 超高速・高精度流量コントロール ゼロリーク・コントロールバルブ MultiFlo™テクノロジーにより、MFCをガスラインから外すことなく、何千もの異なるガス種や流量レンジへ制度を維持したまま設定変更することが可能です。 ディスプレイは流量、温度、圧力、ネットワーク・アドレスを確認することが可能です。 DeviceNet™、EtherCAT®、RS-485 ...

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Brooks Instrument
熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
​HFM-D-300A

圧力: 500 psi

... マスフロー技術は、信頼性、再現性、正確性の高いガス流量測定を可能にします。 HFM-D-300A / HFC-D-302Aは、0-5 sccmから0-25 slmまでの流量レンジを持ち、オールメタルシールを使用し、アナログとデジタルの出力を備え、ステンレススチール製のマスフロー機器です。簡単でユーザーフレンドリーなデジタル通信、ウィンドウズベースのソフトウェアインターフェースをご用意しています。 センサー、バルブ、オーバーフローの自己診断機能は、デジタル機能に含まれています。また、バルブが閉じたことを検知して自動的にゼロをリセットするオートゼロ機能も注目です。これらのマスフローメーターとコントローラーは、異なるレンジとガスの校正を最大10個まで保存できます。また、ユーザーが設定した条件でのガス使用量を監視するトータライザーを内蔵しているのも特徴です。 リークテスト 薄膜蒸着 高純度ガスの供給 サーマルフレームスプレー ガスブレンディング 製薬プロセス ...

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Teledyne Hastings Instruments
熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
HFM-D-301A

流量: 0 l/min - 3,000 l/min
圧力: 500 psi

... マスフロー技術は、信頼性、再現性、正確性の高いガス流量測定を可能にします。 HFM-D-301A/HFC-D-303Aは、0-25 slmから0-1000 slmまでの流量レンジを持ち、アナログおよびデジタル出力を備え、ステンレススチール製です。 Windowsベースのソフトウェアを使用して、簡単でユーザーフレンドリーなデジタル通信が可能です。 利用可能です。 また、柔軟性を高めるために様々なエラストマーシールをご用意しています。 センサー、バルブ、オーバーフローの自己診断機能がデジタル機能に含まれています。また、バルブが閉じたことを検知して自動的にゼロをリセットするオートゼロ機能も注目です。これらのマスフローメーターとコントローラーは、異なるレンジとガスの校正を最大10個まで保存できます。 ...

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Teledyne Hastings Instruments
熱式質量流量調節器
熱式質量流量調節器
HFM-D-305A

流量: 0 l/min - 2,500 l/min
圧力: 500 psi

... マスフロー技術は、信頼性、再現性、正確性の高いガス流量測定を可能にします。 HFM-D-305A/HFC-D-307Aは、0-1000 slmから0-2500 slmの流量レンジを持ち、アナログおよびデジタル出力を備え、ステンレススチール製です。 簡単でユーザーフレンドリーなデジタル通信、ウィンドウズベースのソフトウェアインターフェースが利用できます。 また、柔軟性を高めるために様々なエラストマーシールをご用意しています。 センサー、バルブ、オーバーフローの自己診断機能がデジタル機能に含まれています。また、バルブが閉じたことを検知して自動的にゼロをリセットするオートゼロ機能も注目です。これらのマスフローメーターとコントローラーは、異なるレンジとガスの校正を最大10個まで保存できます。 ...

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Teledyne Hastings Instruments
空気圧式流量調節器
空気圧式流量調節器
901690

... 複数のアプリケーションに対応する空気圧式フローコントロール。 ...

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