熱式質量流量調節器 SEC-Z500X series

ガス用デジタルアナログ

ユーザーサイドでガス種・流量レンジの変更ができるマルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル。 ±1.0%S.P. の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、5SCCMから500SLMのワイドレンジを実現しています。通信方法はデジタル/アナログ、DeviceNet™, EtherCAT®通信から選択可能。先端プロセスのみならず、様々な製造プロセスに最適なマスフローコントローラです。　 マルチレンジ/マルチガス対応 ユーザーサイドでのガス種・フルスケール流量変更が可能。予備品低減など、コスト削減に貢献します。 ワイドレンジ 微少流量(5SCCM F.S)から大流量(500SLM F.S.)まで制御可能 高精度 ±1.0% S.P.(セットポイント)保証 高速応答 フルレンジ1秒以内(T98) コンパクトサイズ 面間距離 106mm(50SLM以下、1/4VCR Type)、1.125inchガスパネルに対応。 ウルトラクリーン対応 接ガス部オールステンレス構造の採用、内面研磨処理標準。