流量圧力コントローラ EC-5000 series

チャンバーの内部圧力を任意の値に一定に制御する排気圧コントローラです。高分解能なステッピングモーターと独自構造のバタフライバルブにより高速応答・高分解能な性能を実現しています。 高真空対応 ステンレスボディを採用 耐腐食性対応 PTFE（ふっ素樹脂）採用モデルもラインアップ 排気圧制御システムを構築 圧力伝送器（EMTGC1B-B） コントローラ（PCU-3000）をラインアップ RoHS指令対応 ※本製品（EC-5202）は、外国為替及び外国貿易法上の規制された貨物です。海外に輸出される場合は、経済産業大臣の許可が必要となります。