熱式質量流量調節器 SEC-8000F/D/E seriesガス用デジタル
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特徴
- 技術
- 熱式質量
- 流体
- ガス用
- その他の特徴
- デジタル
- 流量
最少: 3 l/min
(0.79252 us gal/min)最大: 150 l/min
(39.62581 us gal/min)- 圧力
最少: 1 bar
(15 psi)最大: 3 bar
(44 psi)
詳細
「 HORIBA STECからのSEC-8000F \ /Dシリーズはかなり高精度ののデジタル マス フローのコントローラーを必要とするだれでものための理想的な選択である。このコントローラーは±1.0% S.Pの正確さを特色にし、高温で作動することができる。
pptのレバーで非常に小さいガスの流れの分析に使用することができるのはきれいなガス供給の単位である。それはRoHSに従い、半導体および化合物半導体の処理で使用することができる。
\ /html」
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