熱式質量流量調節器 SEC-8000F/D/E seriesガス用デジタル
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特徴
- 技術
- 熱式質量
- 流体
- ガス用
- その他の特徴
- デジタル
- 流量
最大: 150 l/min
(39.62581 us gal/min)最少: 3 l/min
(0.79252 us gal/min)- 圧力
最大: 3 bar
(43.511 psi)最少: 1 bar
(14.504 psi)
詳細
高温環境（120℃）までの環境で使用できる高温対応デジタルマスフローコントローラです。加温環境での流量制御を必要とする液化ガスや液体材料の流量制御に最適。パージ時には、150℃のベーキングが行えます。また、100L/分（N2)の大流量制御に対応したモデルもラインアップしています。
±1.0 S.P.の高精度、1秒以内の高速応答を実現しています。
15℃から120℃までの高温環境対応
高精度：±1.0％S.P.(セットポイント)保証
高速応答：1秒以内(T98)
ウルトラクリーン対応
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