ピエゾアクチュエーターバルブPVシリーズは、金属ダイアフラムと金属Oリングを備えたピエゾアクチュエーターバルブで構成されています。圧力センサーや流量センサー、レシオコントロールユニット(PCUシリーズ)と組み合わせることで、ピエゾアクチュエーターバルブPVシリーズを使った圧力制御や流量制御システムを構築することができます。
メリット
オールメタル構造による超高純度化
広い流量範囲:1CCMから50LMまで
高温用モデルもあります(PV-1000S/2000S)
外部ユニットによる圧力制御
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