熱式質量流量計 D700MG
ガス用精密デジタル

熱式質量流量計
熱式質量流量計
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特徴

技術
熱式質量
流体
ガス用
その他の特徴
デジタル, 精密
体積流量

最大: 0.1 l/min
(0 us gal/min)

最少: 0 l/min
(0 us gal/min)

動作温度

最大: 80 °C
(176 °F)

最少: 0 °C
(32 °F)

耐圧力

最大: 3.5 bar
(50.76 psi)

最少: 1.1 bar
(15.95 psi)

繰返し精度

最大: 0.3 %

最少: 0.02 %

詳細

高速・高精度感圧式マスフローモジュール 半導体製造の重要なプロセスでは、最先端のメモリやロジックデバイスの将来的なイノベーションとラボからファブへの移行の両方を可能にする精密ガスフロー制御デバイスが常に求められています。HORIBAは、D500MGの上位互換モデルとして、圧力に強いMFC D700MGを提案し、お客さまの課題をサポートします。 特徴 オンツールでのガス・フルスケール設定変更 ※EtherCATのみ プロセス最適化のための柔軟性を提供 100msステップアップ応答とMFC間偏差制御 高い生産性とプロセス性能の向上を実現 小流量(Bin101~Bin105)のMRMG機能 小流量を必要とするプロセスに柔軟性を提供 PFAノズルの採用により、バルブシャットオフ性、耐腐食性を向上。 パーティクルリスクの少ない堅牢性により、ダウンタイムの短縮と歩留まりの最適化を実現 状態監視機能 よりスマートな故障予測のための内部データの提供

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カタログ

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見本市

この販売者が参加する展示会

ACHEMA 2024
ACHEMA 2024

10-14 6月 2024 Frankfurt am Main (ドイツ)

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    *価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。