差圧流量計 D500 series

熱質量ガス用

差圧検出方式を採用した最先端プロセス向け高性能マスフローモジュール。PI機能、マルチガス・マルチレンジ・マルチプレッシャー機能、自己診断機能を備え、±1% S.P. の高精度と応答速度0.8秒を実現しています。 特長 PI機能 （Pressure Insensitive） 急激な圧力変動においても、安定した流量制御を可能とする最新のアルゴリズムを搭載し、各ガスラインの圧力制御機能を省くデザインが可能。ガスラインのシンプル化を実現します。 マルチガス・マルチレンジ・マルチプレッシャー機能 ユーザーサイドで「ガス種」、「フルスケール流量」、「供給圧力レンジ」の変更が可能。予備品低減など、コスト削減に貢献します。 自己診断機能　G-Life　(Gas Law check of Integrated Flow restrictor Equation) 短時間：3秒以下（typical）で自己診断が行え、スループットの向上に貢献します。 高精度 ±1% S.P.を実現 高速応答 応答速度：0.8秒以内 ワイドレンジ制御 10 SCCM~50 SLMとワイドな制御範囲 豊富な通信方式 デジタル/アナログ通信モデル、DeviceNet™通信モデル、EtherCAT®通信モデルをラインナップ