温度質量流量分配器 FS-3000

FS-3000は、HORIBA STECのマスフローコントローラー（MFC）とMuCube（マスターコントローラー）の組み合わせです。HORIBA STEC独自の制御アルゴリズムを搭載したMuCubeからMFCを制御することで、FS-3000は安定した分割制御を実現しています。 制御アルゴリズムは、HORIBA STEC独自の制御最適化技術により、FS-3000の上流の圧力を制御しながら、流量比を制御することで、安定した流量分割制御を実現する。さらに、分割比率を変更した場合でも、制御アルゴリズムにより、流量分割の高速応答を実現しています。 拡張性・メンテナンス性の向上 FS-3000は、高速信号処理により最大15流路の分割に対応しています。また、MFCが故障した場合でも、故障したスレーブのみを交換することで、FS-3000を修理することが可能です。 要求仕様に柔軟に対応 FS-3000は、混合ガスを含む様々なガスに対応しています。また、ユーザーインターフェースとして、RS-485、DeviceNetに対応しています。