質量流量調節器 MFC5100M

ガス用デジタル液晶ディスプレイ

ガス質量流量コントローラ「MFC5100M」シリーズは、非腐食性ガスの流量制御用途向けに設計されており、フルスケールの質量流量は最大100 Ln/minです。本製品はタッチスクリーンを搭載しており、ユーザーはこれを使用して基本操作を行うことができます。 RS485 Modbusインターフェースも用意されています。DeviceNet、ProfiNet、EtherNet、EtherCat、IO-Linkなどのその他の標準通信オプションについては、メーカーにお問い合わせいただければ対応可能であり、今後順次標準仕様として提供される予定です。これらのインターフェースは、ご要望に応じてさらにカスタマイズすることも可能です。