質量流量調節器 MFC4000ガス用
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特徴
- 技術
- 質量
- 流体
- ガス用
詳細
MFC4000シリーズは、高純度フロープロセスが要求されるアプリケーション向けに設計されています。センシングチップはSEMIグレードの防錆フィルムでコンフォーマルにコーティングされています。その他のパッケージ材料も、業界最高水準に厳しく選定されています。
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