質量流量調節器 MFC5000

ガス用DeviceNetProfiNet

MFC5000シリーズのガス質量流量コントローラは、各用途に対応するSEMI規格に準拠して製造されています。本製品は、DeviceNet、ProfiNet、EtherCat、IO-Linkなど、幅広いバス通信オプションを備えています。これらのインターフェースは、ご要望に応じてさらにカスタマイズすることも可能です。 MFC5000は、100:1のダイナミックレンジを特徴とし、プロセス制御用に設計されています。0.1～1 MPa（15～150 PSI）の範囲で圧力を制御し、0～50°Cの温度補償範囲に対応しています。 また、本装置は真空条件下でも動作可能です。