質量流量調節器 MFC1700

ガス用アナログアナログ

MFC1700シリーズのガス質量流量コントローラは、汎用的な非腐食性ガスの流量制御用途向けに設計されており、フルスケールの質量流量範囲は50 mLn/minから20 Ln/minです。アナログインターフェースとRS485 Modbusインターフェースの両方が利用可能です。 本シリーズはMFC1600プラットフォームをベースにしており、オフラインでのアドレスおよび通信パラメータの設定用にロータリースイッチが追加されています。また、操作を容易にするためのハードオフセットリセットスイッチも備えています。