質量流量調節器 MFC series

ガス用費用対効果が高いコンパクト

概要
MFCシリーズは、非腐食性ガス向けの質量流量コントローラで、複数の流量レンジと産業用途に対応します。標準インターフェースはアナログおよびRS485 Modbusで、シリーズによりDeviceNet、ProfiNet、EtherNet、EtherCat、IO-Linkなどのバスオプションを選択可能です。

MFC2000

• 汎用ガス質量流量コントローラ
• フルスケール流量範囲: 50 mLn/min～200 Ln/min
• インターフェース: アナログおよびRS485 Modbus、追加の産業用バスはオプション

MFC4000

• 非腐食性ガスの流量制御向け
• フルスケール流量範囲: 50 mLn/min～1000 mLn/min
• 計測機器や携帯型機器向けの小型フォームファクタ
• インターフェース: アナログおよびRS485 Modbus、バスオプションあり

MFC5100M

• フルスケール: 最大100 Ln/min
• 基本操作用のタッチスクリーンを搭載
• RS485 Modbus利用可能、他の通信オプションも選択可

MFC5000

• プロセス制御向けにSEMI準拠で設計されたシリーズ
• DeviceNet、ProfiNet、EtherCat、IO-Link等のバスを幅広くサポート
• 100:1のダイナミックレンジ、圧力制御 0.1–1 MPa (15–150 PSI)
• 温度補償範囲: 0–50°C、真空下での動作も可能

MFC1100

• 大流量制御向け: フルスケール 20–50 Ln/min
• 制御出力: アナログ (0–5 Vdc または 4–20 mA) と RS485 Modbus（比例弁制御用）
• 100:1のダイナミックレンジ、圧力 0.1–0.8 MPa (15–117 PSI)、温度補償 0–55°C
• 典型用途: 麻酔ガスのデジタル供給、溶接ガスなど

MFC1600

• コスト効率の高いアルミ合金ハウジング
• 非常に低流量の非腐食性ガス制御向けに設計
• インターフェース: アナログおよびRS485 Modbus
• 圧力範囲: 0.1–0.8 MPa (15–120 PSI)、温度補償 0–50°C
• 典型用途: 薄膜堆積、医療機器

仕様 / 技術特性

• 製品群: MFC（質量流量コントローラ）— 非腐食性ガス用
• 一般的なインターフェース: アナログ、RS485 Modbus; DeviceNet、ProfiNet、EtherNet、EtherCat、IO-Linkはオプション
• 流量範囲: モデルにより mLn/min レベルから最大 1000 mLn/min
• ダイナミックレンジ: 最大 100:1（モデル依存）
• 圧力範囲: 例 0.1–0.8 MPa、0.1–1 MPa（モデル依存）
• 温度補償範囲: 例 0–50°C、0–55°C（モデル依存）
• フォームファクタ: 計測用コンパクトタイプや経済的なアルミ合金ケースなど
• 代表的な用途: プロセス制御、計測/携帯機器、薄膜堆積、医療機器、デジタルガス供給、溶接ガス