質量流量調節器 MFC2100

ガス用デジタルアナログ

MFC2100シリーズのガス質量流量コントローラは、汎用的な非腐食性ガスの流量制御用途向けに設計されており、フルスケールの質量流量は最大50 mLn/minです。アナログインターフェースとRS485 Modbusインターフェースの両方が利用可能です。本シリーズは、保護等級Class 65の強化された防塵・防水性能を備えています。 電子回路はMFC2000シリーズと同じです。電気的および機械的なインターフェースは、いずれもカスタマイズが可能です。