比例流量調節器 MC

差圧質量ガス用

概要
層流差圧（DP）測定技術を用いた高速質量流量コントローラ。ガスの自動計測および制御向けに設計され、産業プロセスや研究用途に対応する幅広いフルスケール流量・圧力オプション、用途別の複数シリーズ、および多彩な通信・構成オプションを備えています。

主な特長

• 層流DP（差圧）質量流量測定技術
• 質量流量、体積流量、温度、圧力を測定
• 98～130のプリロード済みガス較正（シリーズにより異なる）
• 制御応答時間は最短30 ms
• 一部バリアントでは測定・制御範囲が0.01%～100%（10,000:1ターンダウン）
• シリーズにより低真空から高圧までの動作圧力オプション
• 限定的な生涯保証

性能ハイライト

• フルスケール流量範囲：0.5 SCCM～12,000 SLPM（シリーズ／モデル依存）
• 動作圧力範囲（例）：11.5～160 PSIA（標準MC）；高圧バリアントでは最大320 PSIA
• 精度の例：標準MCで読み値の±0.5%またはフルスケールの±0.1%（大きい方を採用）程度、耐食性バリアントでは読み値±0.4%／フルスケール±0.2%を達成可能
• 制御応答：最短30 ms（一部高圧バリアントは100 ms）

利用可能なシリーズと用途

• MC Series — 汎用の層流DP質量流量コントローラ。高速比例制御、幅広い流量オプション（0.5 SCCM～12,000 SLPM）
• MCS Series — 耐食性コントローラ、被湿材料を削減。約130の耐食性／非耐食性ガス較正をプリロード可能。精度例：読み値±0.4%／フルスケール±0.2%
• MCQ Series — 高圧プロセス用高圧コントローラ。より高いPSIA定格で動作
• BIOC Series — バイオリアクター・発酵槽向け設計。ASME BPE準拠、長期安定性、適合材料（USP Class VI エラストマー等）およびスケーラビリティ設計（10,000:1動作範囲）
• MCD Series — 2方向の流れを制御する双方向質量流量コントローラ（2バルブ）
• MCT Series — 2つのガス源を切替えるデバイス（2源→1装置）
• MCW / MCWD — 低圧損の層流DP MFC
• SFF / MCV — 真空圧対応およびSEMIフットプリントオプション
• IS‑Max — 爆発性雰囲気向けの本質安全型MFC

構成オプションと選択
通信プロトコル：RS-232シリアル（デフォルト）；RS-485シリアル；アナログ（4–20 mA、0–10 Vdc、0–5 Vdc、または1–5 Vdc）；Modbus RTU（RS-232またはRS-485経由）；Modbus TCP/IP；DeviceNet；EtherCAT；EtherNet/IP；PROFIBUS；PROFINET；IO-Link
表示：バックライト付きモノクロ（デフォルト）またはTFTカラー；インテグラルまたはパネルマウント；無し
プロセス接続：10-32、NPT、SAE、BSPP、VCRM、VCO、圧縮継手（モデルにより選択可）
保護等級：IP40（デフォルト）；オプションでIP66、IP67
危険環境評価：CSA Class 1 Div 2およびATEX Class 1 Zone 2構成オプション（シリーズ／オプション依存）
湿潤ガス：相対湿度補償対応可能
測定技術：温度・圧力補正を行う層流差圧（DP）流量検出

仕様書ファミリー / モデル群

• MCファミリの仕様範囲（フルスケールの低／中／高グループが0.5～12,000 SLPMをカバー、範囲に依存）
• MCSファミリの仕様は耐食オプションとそれらの範囲をカバー
• MCQファミリの仕様は高圧コントローラオプションをカバー
• BIOCファミリの仕様はバイオリアクター／発酵槽向けの範囲と適合性をカバー

追加の注意事項
多くのMCシリーズ機器は危険区域用構成、表示およびコネクタの異なるオプション、幅広い通信プロトコルや継手オプションで入手可能です。機器は受注生産で、較正および精度オプションを選択可能です。

技術仕様

• 測定方式：温度・圧力補正を伴う層流差圧（DP）
• 測定変数：質量流量、体積流量、温度、圧力
• フルスケール流量範囲：0.5 SCCM～12,000 SLPM（モデル依存）
• 製品ページに記載の例：0.5 SCCM、1 SCCM、2 SCCM、5 SCCM、10 SCCM、20 SCCM、50 SCCM、100 SCCM、200 SCCM、500 SCCM、1 SLPM、2 SLPM、5 SLPM、10 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、250 SLPM、500 SLPM、1,000 SLPM 等
• 動作圧力：MC典型 11.5 – 160 PSIA；MCQは最大320 PSIA（バリアント依存）
• 精度例：シリーズや較正により読み値±0.4%–±0.6%またはフルスケール±0.1%–0.2%まで
• 制御範囲／ターンダウン：一部MC/BIOCバリアントで最大10,000:1；その他は200:1またはシリーズにより1–100%
• 制御応答：最短30 ms；一部高圧バリアントは約100 ms
• プリロードガス較正：通常数十から100以上（例：シリーズにより98–130）
• 表示：バックライト付きモノクロまたはTFTカラー、インテグラルまたはパネルマウント、または表示なし
• 通信：アナログ、RS-232、RS-485、Modbus RTU、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、PROFIBUS、PROFINET、IO-Link
• プロセス接続：10-32、NPT、SAE、BSPP、VCRM、VCO、圧縮（モデル依存）
• IPオプション：標準IP40；オプションでIP66 / IP67
• 危険区域オプション：-XビルドでCSA Class 1 Division 2 / ATEX Zone 2対応；より危険な区域向けにIS-Maxシリーズの本質安全仕様あり