比例流量調節器 Whisper™ MCW

差圧質量ガス用

概要

• 供給圧力が限定されたガスシステム向けに設計された低圧力損失の質量流量コントローラ。極めて小さい圧力損失（最小0.07 PSID）で動作します。
• 98種類のガス校正をプリロード済み — ガス切替時に精度を維持。
• 質量流量、体積流量、温度、圧力を計測。
• 即時ウォームアップ。
• 一部レンジで0.01–100%の測定範囲（10,000:1 turndown）；制御レンジはシリーズにより異なります。
• ラミナ流の差圧（DP）による質量流量測定技術。
• 双方向制御対応の構成が可能。
• 大きな圧力差を消費せずに流量の制御と測定が可能。
• 限定生涯保証。

主な特徴（シリーズ別の詳細）

• MCWシリーズ：高速比例制御；0.5 SCCM〜1,000 SLPMのオプション；最大使用圧力60 PSIAまで；読み取り値の±0.6%またはフルスケールの±0.1%のいずれか大きい方の精度；制御範囲0.5–100%（200:1 turndown）；制御応答30 ms。
• MCDWシリーズ：双方向制御が必要な用途向けの双方向フローコントローラ；0.5 SCCM〜500 SLPMのオプション；最大使用圧力60 PSIA；±フルスケールの正負範囲全体で±0.4%程度の精度；制御範囲0.5–100%（200:1 turndown）；制御応答100 ms；閉容積内の圧力制御やリークチェック用途での流量測定をサポート。
• その他のバリアント：MC（標準ラミナDP MFC）、SFF/MCV（真空圧対応、SEMIフットプリント）、IS-Max（爆発性雰囲気向け耐圧安全）および特定フルスケール流量をカバーする複数のMCW/MCDWトップレベル品番。

仕様書（利用可能レンジ）

• 0.5–5 SCCM
• 10 SCCM–100 SLPM
• 250–1000 SLPM
• MCDW: 0.5 SCCM–500 SLPM

構成オプション（表）
通信プロトコル：RS-232（標準）；RS-485；アナログ（4-20 mA、0-10 V、0-5 V、1-5 V）；Modbus RTU（RS-232/RS-485経由）；Modbus TCP/IP；DeviceNet；EtherCAT；EtherNet/IP；PROFIBUS；PROFINET；IO-Link
表示：バックライト付きモノクロ（標準）またはTFTカラー；統合型またはパネルマウント；なし
プロセス接続：10-32、NPT、SAE、BSPP、VCRM、VCO、圧縮継手
保護等級：IP40（標準）；IP66；IP67
防爆対応：CSA Class 1 Div 2、ATEX Class 1 Zone 2（-X C1D2 ビルドオプション）。一部の防爆認証に対してはレガシー7Vファームウェアを使用。
湿潤ガス：相対湿度補正

構成オプション注記

• C1D2（-X）オプション：読み取り値で±0.8%の精度および1つのトータライザ；プラグインロック式コネクタ（IC、DB15、DB9）は危険区域内での抜き差し不可；通常運転中に工具なしでアクセスできないIP54以上の筐体内へ設置；電子部はアルミニウム筐体に収納；一部構成はレガシー7Vファームウェアで動作。

ダウンロードとソフトウェア

• 操作マニュアル（最新およびレガシーファームウェア版）およびWhisper Seriesのパンフレットを用意。
• 機器設定とデータ収集のためのソフトウェアユーティリティとドライバ（FlowVision、LabVIEWドライバ、シリアルユーティリティ、Pythonライブラリ）を提供。

入手可能なバリアント / トップレベル品番（例）

• MCW-0.5SCCM, MCW-1SCCM, MCW-2SCCM, MCW-5SCCM, MCW-10SCCM, MCW-20SCCM, MCW-50SCCM, MCW-100SCCM, MCW-200SCCM, MCW-500SCCM, MCW-1SLPM, MCW-2SLPM, MCW-5SLPM, MCW-10SLPM, MCW-20SLPM
• MCHW-2SCCM, MCHW-5SLPM, MCPHW-100SLPM, MCPW-2SLPM, MCPW-5SLPM, MCPW-10SLPM, MCPW-20SLPM
• MCRHW-500SLPM, MCRHW-1000SLPM, MCRW-5SLPM, MCRW-10SLPM, MCRW-20SLPM, MCRW-40SLPM, MCRW-50SLPM, MCRW-100SLPM, MCRW-250SLPM, MCRW-500SLPM, MCRWH-1000SLPM, MCRWS-500SLPM, MCTW-2SCCM

技術仕様

• フルスケール流量レンジ：0.5 SCCM–1,000 SLPM（シリーズ依存）
• 流量計レンジ（関連製品）：2 SCCM–1,000 SLPM
• 流量コントローラレンジ：2 SCCM–1,000 SLPM（シリーズ依存）
• 動作圧力範囲（MCW典型）：11.5–60 PSIA；一部シリーズは60 PSIAまで
• 精度：±0.6%の読み取り値または±0.1%のフルスケール（MCW）；MCDW双方向は±0.4%の全スパンでの精度；C1D2オプションは読み取り値で±0.8%の精度
• ターンダウン比：最大10,000:1の測定ターンダウン（選択レンジで0.01–100%）；典型の制御ターンダウン200:1
• 制御応答時間：30 ms（MCW典型）；100 ms（MCDW双方向）
• 測定出力：質量流量、体積流量、温度、圧力
• ガス校正：98のプリロードガス校正
• 通信：アナログ（4-20 mA、電圧）、RS-232、RS-485、Modbus RTU、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、PROFIBUS、PROFINET、IO-Link
• 表示：バックライト付きモノクロ（標準）またはTFTカラー；組込み、パネル取り付け、またはなし
• プロセス接続：10-32、NPT、SAE、BSPP、VCRM、VCO、圧縮継手
• 保護等級オプション：IP40（標準）；IP66；IP67
• 危険環境の認証/オプション：CSA Class 1 Div 2、ATEX Zone 2（-Xオプション）；継続的な危険区域にはIS-Maxシリーズ（本質安全）を検討
• 環境補償：湿潤ガス向け相対湿度補償
• 保証：限定生涯保証