熱式質量流量調節器 1559A

窒素用

MKSの器械1559は200 slmへの20 slmからの範囲を(42.5 cfh)エラストマー密封した(425 cfh)カバーする一般目的のマスフロー制御適用のためにマスフローのコントローラーを設計されている。 1559's独特な制御弁は振動を除去し、他の流れのコントローラーと比べてよりよい応答時間を提供する。 この特徴は自動的に制御弁内のライン圧力引き起こされた不均衡を中和する「釣り合った力」弁の設計の使用によって可能である。 1559A高い流れのマスフローのコントローラーの正確さはフル・スケールの±1%である。