熱式質量流量調節器 F4Q

ガス用窒素用空気用

ひとめで制御状態が分かる大型LEDと詳細に制御状態が分かる液晶表示器をはじめとした新たな機能を追加し流量制御の課題を解決する高性能なマスフローコントローラです。 - 精度１％SPを広い流量域で - 0.3sの高速応答を広い流量域で - 低圧ガスでも制御できる低差圧構造 - グッドデザイン賞 2021年度 受賞／iFデザインアワード2022 受賞 - 2024年度計測自動制御学会 新製品開発賞 受賞 デジタルマスフローコントローラ 形 F4Qは、検出部に弊社独自開発の「微小熱式流速センサ」を搭載した高性能デジタルマスフローコントローラです。ひとめで制御状態が分かる大型LEDと、詳細に制御状態が分かる液晶表示器を搭載。 広い流量域で精度を向上。新たな機能を追加し流量制御の課題を解決します。 ひとめで制御状態を把握 大型LEDランプの色と点滅でひとめで制御状態を把握できます。 情報量の豊富な高精細液晶表示器で詳細な情報を把握できます。 精度1% SPを広い流量域で 高流量域から低流量域まで高精度で制御できます。 広い範囲で設定流量を変更する用途に適しています。 0.3sの高速応答を広い流量域で「全閉から制御開始時」 「設定値変更時」とも同様に高速応答を実現しています。 複数のガス流量を同時に変更する場合もガスの比率を維持できます。