質量流量調節器 MQV

ガス用デジタルアナログ出力

細かく研ぎ澄まされた制御能力の新たな進歩！優れた高速制御（300ms）と多彩な機能を強化しました。 説明 MQVシリーズの高度なデジタルマスフローコントローラは、当社独自の熱流量センサをセンシング素子として使用し、プロポーションソレノイドバルブと高度なアクチュエータ技術と組み合わせています。その結果、高性能な次世代コントローラが実現します。 一般的な産業用に開発されたMQVシリーズは、高速かつ広範囲の流量制御のニーズを考慮して設計されています。MQVシリーズは、μFセンサ出力と高度なPID制御技術を使用して比例アクチュエータを駆動します。5mL、20mL、50mL/minという非常に低流量モデルが追加され、適用範囲が拡大しました。 特長 *-300msの高速制御を実現（MQV0050/0200/0500/1000J、Kは700ms）。 MQVシリーズは、無流れから安定したセットポイント流量まで、およびセットポイント変更後の非常に高速応答を提供します。一次ガス圧の変化に対する高速応答により、二次流への影響を最小限に抑えることができます。 *-信頼性の高い制御 *-ディスプレイ一体型/非搭載モデル、標準ガス、水素/ヘリウム用、特殊ガス用モデル *-低差動での動作圧力は標準機能です MQVシリーズは、圧力損失が大きい毛細血管を使用しません。このようにMQVシリーズは、低圧力差で制御することができます *-MQVシリーズは、流量表示や総計化などの標準機能を多数備えています。PLCのようなソフトウェアを処理する必要なく、MQVシリーズは幅広いアプリケーションを容易に処理できます。