質量流量調節器 EL-FLOW

熱式質量ガス用コンパクト

これらのガスマスフローコントローラー及びメーターは圧力反応器と組み合わせることにより、真空から64 barの動作圧力で0.16～8 mln/min及び0.5～25 ln/minの流量範囲を正確に測定及び制御することができます。 マスフローコントローラは、熱式マスフローセンサ、精密制御バルブ、信号及びフィールドバス変換機能を備えたマイクロプロセッサベースのPCボードで構成されています。 設定値の関数として、流量コントローラーは目的の流量を迅速に調整します。 これらのマスフローコントローラの主な特徴は以下の通りです： 高精度 高速応答、優れた再現性 オプションのマルチ流体／マルチレンジ機能 圧力、温度に依存しない コンパクト設計 EL-FLOW Select シリーズはデジタルPCボードを装備し、高精度、優れた温度安定性、高速応答を提供します。メインのデジタルPCボードには計測と制御に必要な全ての一般機能が含まれています。標準RS232出力に加え、アナログI/Oも装備しています。 オプションとして、CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII or TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK or FLOW-BUSプロトコルを提供するオンボードインターフェースを取り付けることができます。EL-FLOW®セレクトはオプションでマルチガス/マルチレンジ機能を備えており、お客様に最適なフレキシビリティとプロセス効率を提供します。