イオン移動度分光器 AirSentry® II AMC

プロセス分析用監視用

クリーンルーム大気中の分子状汚染物質 (AMC: Airborne Molecular Contaminant) は、電子デバイスや製造装置の性能に影響を与え、歩留ロスや製品劣化の原因になります。適切なモニタリングが、迅速で的確なAMC汚染対策の実施につながります。 AirSentry II 移動式AMCモニタリングシステムは、イオンモビリティスペクトロメータ（IMS）のAirSentry II AMCモニター、コンプレッサ、エアドライヤ、CDAタンク、真空ポンプ、UPSなど、サンプル採取とAMC検出に必要なコンポーネントをすべて移動式ワゴンに搭載しています。電源に接続せずに、約30分の測定が可能です。 ユーザーインターフェースとなるタッチパネルPCにはFacility Net モニタリングソフトウェアがプリインストールされており、測定結果のリアルタイム表示やレポートの生成、データの保存などを行います。 スピーディな汚染源の特定と汚染防止に有効な、オールインワンの高感度AMCモニタリングシステムです。