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... クリーンルーム大気中の分子状汚染物質 (AMC: Airborne Molecular Contaminant) は、電子デバイスや製造装置の性能に影響を与え、歩留ロスや製品劣化の原因になります。適切なモニタリングが、迅速で的確なAMC汚染対策の実施につながります。 AirSentry II 移動式AMCモニタリングシステムは、イオンモビリティスペクトロメータ（IMS）のAirSentry II AMCモニター、コンプレッサ、エアドライヤ、CDAタンク、真空ポンプ、UPSなど、サンプル採取とAMC検出に必要なコンポーネントをすべて移動式ワゴンに搭載しています。電源に接続せずに、約30分の測定が可能です。 ユーザーインターフェースとなるタッチパネルPCにはFacility ...
... クリーンルーム大気中の分子状汚染物質 (AMC: Airborne Molecular Contaminant) は、電子デバイスや製造装置の性能に影響を与え、歩留ロスや製品劣化の原因になります。適切なモニタリングが、迅速で的確なAMC汚染防止につながります。 AirSentry II 多点式AMCモニタリングシステムは、クリーンルーム内に設定した複数の測定ポイントからサンプル空気を順次集め、イオン モビリティ スペクトロメータ (IMS) のAirSentry II AMCモニター 1台ないし3台でAMCを順次測定します。測定ポイントあたりのコストを抑えながら、広範囲の管理を可能にします。 システムに付属するPCにプリインストールされたソフトウェアにより、測定結果はリアルタイムに表示され、また、アラームの状態や各種レポートを閲覧したり、レシピを作成することができます。サンプリングと測定は、レシピに基づいて自動的に実行されます。 測定対象のAMCに応じて、最大で3台のAirSentry ...
... クリーンルーム大気中の分子状汚染物質 (AMC: Airborne Molecular Contaminant) は、電子デバイスや製造装置の性能に影響を与え、歩留ロスや製品劣化の原因になります。 AirSentry II AMCモニターは、pptレベルの塩化物、総合酸、アミン、アンモニアをリアルタイムに検知する、AMCの常時モニタリングに適したイオン モビリティ スペクトロメータ (IMS) です。 Facility Net モニタリングソフトウェア (オプション) を使用すれば、AirSentry ...
... 世界をリードする年代学研究のための専用イオンマイクロプローブ 地質年代学者からの高まる要求に応えるため、カメカは高度なU-Th-Pb鉱物年代測定用に完全に最適化された大型ジオメトリーSIMS装置KLEORAを導入しました。 新世代の超高感度大型イオンマイクロプローブIMS 1300-HR³をベースとしたKLEORAは、高スループットで使いやすいプラットフォームで、in-situ U-Th-Pb同位体分析のベンチマークとなる感度を提供します。 KLEORA：U-Pb年代測定の先進ソリューション KLEORAは、IMS ...
CAMECA
... 先端半導体アプリケーション用SIMS IMS WfおよびSC Ultraは、先端半導体におけるダイナミックSIMS測定のニーズの高まりに対応するために特別に設計されました。質量分解能と一次ビーム密度に妥協することなく、広い範囲の衝突エネルギー（100eV～10keV）を提供し、最も困難なアプリケーション（超浅い高エネルギーインプラント、超薄膜窒化物酸化物、High-kメタルゲート、SiGeドープ層、Si:C:P構造、PVおよびLEDデバイス、グラフェンなど）において、高スループットで比類のない分析性能を保証します。 標準から超浅層まで 先端半導体の分析には、標準的なデプスプロファイリングアプリケーションをあきらめることなく、極浅デプスプロファイリングのためのSIMS分析条件を最適化することが第一条件となります。そこでCAMECAは、厚い構造用の高エネルギー（keV範囲）から超薄い構造用の超低エネルギー（≤150eV）まで、広い範囲の衝突エネルギーで試料をスパッタリングできる独自のSIMS装置設計を開発した。このような柔軟な衝撃エネルギーの選択は、さまざまに制御されたスパッタリング条件（化学種、入射角など）で利用できます。 CAMECA ...
CAMECA
... 量産半導体製造のための完全自動化SIMS AKONIS SIMSツールは、インプラントプロファイル、組成分析、界面データのための高スループット、高精度検出を提供し、大量生産を可能にすることで、半導体製造プロセスにおける重要なギャップを埋めます。AKONISは、ファブレベルのプロセス制御とツール間のマッチングのために、ツール間の再現性を保証する非常に高いレベルの自動化を提供します。 IMS Wf/SC Ultraや、特性評価ラボで半導体業界をサポートするために使用されているSIMS 4550（四重極SIMS）を補完するAKONISは、装置のセットアップと分析ルーチンの完全自動化により、分析感度に妥協することなく、ラボ内での迅速な分析を可能にします。AKONISは、最近開発されたEXLIE（EXtremely ...
CAMECA