イオン移動度分光器 AMC AirSentry® II
プロセス分析用測定用

イオン移動度分光器
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特徴

タイプ
イオン移動度
分野
プロセス, 分析用, 測定用, 監視用, 半導体産業用, エレクトロニクス産業用
形状
移動式
その他の特徴
高感度

詳細

クリーンルーム大気中の分子状汚染物質 (AMC: Airborne Molecular Contaminant) は、電子デバイスや製造装置の性能に影響を与え、歩留ロスや製品劣化の原因になります。適切なモニタリングが、迅速で的確なAMC汚染防止につながります。 AirSentry II 多点式AMCモニタリングシステムは、クリーンルーム内に設定した複数の測定ポイントからサンプル空気を順次集め、イオン モビリティ スペクトロメータ (IMS) のAirSentry II AMCモニター 1台ないし3台でAMCを順次測定します。測定ポイントあたりのコストを抑えながら、広範囲の管理を可能にします。 システムに付属するPCにプリインストールされたソフトウェアにより、測定結果はリアルタイムに表示され、また、アラームの状態や各種レポートを閲覧したり、レシピを作成することができます。サンプリングと測定は、レシピに基づいて自動的に実行されます。 測定対象のAMCに応じて、最大で3台のAirSentry II AMCモニターをシステムに搭載することができます。対応可能な測定ポイントが16か所までのシステムと、30か所までのシステムがあります。

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